真空测漏方式及其特性.PDFVIP

真空測漏方式及其特性 任課教授 ：吳文端 學生 ：黃柏瑞 496L0074 1 目錄 真空測漏基本概念 系統漏氣之研判 漏氣點位置之研判 測漏方法與儀器 氦氣測漏儀優缺點及原理 參考文獻 2 真空測漏基本概念 3 真空測漏基本概念 真空系統中漏氣原因包刮 ： 實漏 真空系統外的氣體 ，經殼體 、管壁 、銲接缺 陷或刮傷刀口之法蘭及接頭等… 。 虛漏 系統中侷限氣體分子之逸出 。常發生於真空 封合銲縫 、螺紋間隙及夾層 。 4 逸氣 1.放出真空系統器壁所吸附的氣體分子 ，常見 於螺絲 、O型環真空封合及電子槍披覆加熱 。 2.設備儀器內存有高蒸氣物質 ，當真空度達其 蒸氣壓時 ，此物質及蒸發成氣體 。 5 系統漏氣之研判 就真空技術而言 ，沒有絕不漏氣的容器或系 統 。 重點─漏氣量需小到不影響工作真空度 、氣 體成份 、終極壓力 。 判斷實漏最簡單之方式 ： 利用真空儀表壓力上升法 ，利用實驗室之酒 精或乙醚 ，當示漏物質澆在可疑部位 ，儀表 壓力突然上升時即為漏氣點 。(需注意防火安 全) 6 系統漏氣之研判 為測量待測物之漏氣定量 ，以下介紹兩種常 見的真空系統總漏氣率量測裝置安裝方法 ： (此兩種方法均以氦氣為示漏氣體) (1)正壓充氣法 (2)負壓法 7 真空罩內抽真空 正壓充氣法 待測物充以示漏氣體 ※將待測物以一 真空容器罩住 ，並 漏氣孔 以示漏氣體充滿待 測物 ，示漏氣體經 由漏氣孔漏出而被 測漏儀器測得 。 氦氣測漏儀 8 外護罩充以示漏氣體 待測物與測漏儀 負壓法 連接並抽真空 ※於待測物外護 罩充滿示漏氣體 ， 將待測裝置與測漏