调幅式电容位移传感器的峰值检波电路设计-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 棽棸 暋 棻棻 暋 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶棻棻 暋暋暋暋 暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋 暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 棻棻 暋 暋 暋 斘旓旜棶棽棸棻棽 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棻棻灢棽棿棿棿灢棸椂 调幅式电容位移传感器的峰值检波电路设计 灣 棳 棳 棳 黄向东 刘立丰 谭久彬 马 标 暋 棬 棳 棭 哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所 黑龙江 哈尔滨 棻椀棸棸棸棻 椇 棳 摘要 针对调幅式电容位移传感器解调过程中由系统不确定相移导致的信号解调不准确问题 提出了一种基于改进的峰 暎 棳 棳 值保持电路的调幅式电容位移传感测量方法 首先 分析了调幅式电容位移传感器及其检测电路的工作原理 在研究调 棳 棳 暎 棳 幅信号附加相移产生机理的基础上 提出了延迟反馈式峰值保持电路 用以去除附加相移对峰值解调的影响 然后 设 棳 暎 棳 暎 计并制作了调幅式电容位移传感器 并对其各个性能指标进行了测试 最后 对实验结果和误差进行了分析 实验显 棳 棳 棷 棳 示 提出的峰值保持电路的输出线性度优于棸棶棸椀棩 制作的传感器在 棸暙棽椀 旐内数据测量稳定性优于 棻棸旑旐 棾棸旐旈旑 毺 暎 棳 传感器测量偏差最大值为 棾椂旑旐 结果表明 采用延迟反馈型峰值保持电路有效地解决了系统不确定相移带来的峰值 棳 暎 检波不准确的问题 所制作的电容传感器满足了高精度测量的要求 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 位移传感器 电容传感器 延迟反馈 相位延迟 峰值检波电路 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 斣斝棽棻棽灡棻棽暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棽棽棸棻棻棶棽棿棿棿 斈斿旙旈旑旓旀斿斸旊斾斿旚斿斻旚旓旘斻旈旘斻旛旈旚旀旓旘斄斖 旂 旔 斻斸斸斻旈旚旈旜斿斾旈旙旍斸斻斿旐斿旑旚旙斿旑旙旓旘 旔 旔 棳 棳 棳 斎斦斄斘斍斬旈斸旑灢斾旓旑