传感器_03电容式传感器.ppt

传感器原理及应用 机械与汽车工程学院 主 讲：黄海鸿 电 邮：allenhuanghaihong@163.com 地 址：机械楼417室 课前思考 课前思考 课前思考 课前思考 课前思考 课前思考 第三章 电容式传感器 第一节 电容式传感器基础知识 第二节 电容式传感器的应用 3.1 电容式传感器基础知识 电容 电容是表征电容器容纳电荷的本领的物理量。 我们把电容器的两极板间的电势差增加1伏所需的电量，叫做电容器的电容。一个电容器，如果带1库仑的电量时两级间的电势差是1伏，则电容器的电容就是1法。 电容的单位是法拉 1法拉(F)= 1000毫法(mF)＝1000000微法(μF) 1微法(μF)= 1000纳法(nF)= 1000000皮法(pF) 3.1 电容式传感器基础知识 工作原理 平板电容器是由绝缘介质分开的两个平行金属板组成。 电容C用于描述电荷Q与电容器（电导体）之间电压差V的关系： C = Q / V 当忽略边缘效应时，电容C与真空介电常数ε0、极板间介质的相对介电常数εr、极板有效（正对）面积S以及两极板间的距离d有关： 3.1 电容式传感器基础知识 若被测量的变化使式中ε、S、d这三个参量中任意一个值发生变化，都会引起电容量C的变化，再通过测量电路转换为电量输出。 电容式传感器的三种类型 变面积（S）型 变介质介电常数（ε）型，简称变介质型 变极板间距（d）型，为非线性关系 3.1.1 变面积型电容式传感器 直线位移式 角位移式 圆柱体线位移式 齿型极板型 3.1.1 变面积型电容式传感器 直线位移式 当动极板移动Δx后，覆盖面积发生变化，电容量C随之改变，电容因位移而产生的变化量为: 3.1.1 变面积型电容式传感器 角位移式 当动片有一角位移θ时，两极板间覆盖面积发生变化，从而导致电容量C的变化，此时电容值为: 3.1.1 变面积型电容式传感器 圆柱体线位移式 由两个同心圆柱形电极组成 齿型极板型 极板采用锯齿板，其目的是为了增加覆盖面积，提高灵敏度 3.1.2 变介质型电容式传感器 用途 测量电介质的厚度、液位，例如：测量片状材料（纸张、绝缘薄膜等）的厚度，检测容器中液面高度 根据极间介质的介电常数随温度、湿度改变而改变来测量介质材料的温度、湿度等，可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体物质的湿度 3.1.2 变介质型电容式传感器 根据电介质插入电容器中的深度不同，相应改变两种介质的极板覆盖面积 3.1.2 变介质型电容式传感器 圆筒式液位传感器 3.1.2 变介质型电容式传感器 固体厚度不变、介质常数发生变化，会引起电容C变化，可测固体材料的温度、湿度等 如果待测体介电常数已知，可作为测厚仪 3.1.3 变极板间距型电容式传感器 当可动极板 (简称动片)随被测量变化而与固定极板发生相对移动时，两极板间距d0变化，使电容量C产生变化。电容量的变化量ΔC与极板间距变化量（动极板的位移量）Δd的关系： 3.1.3 差动式电容式传感器 动极板置于两定极板之间，输出为两电容量之差（两电容初始值相等） 3.1.3 差动式电容式传感器 动极板置于两定极板之间，输出为两电容量之差（两电容初始值相等） 3.2 电容式传感器的应用 电容式传感器的优点 温度稳定性好 电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。 结构简单 非常小巧，易于制造，易于保证高的精度。 能工作在高温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中。能承受很大的温度变化，承受高压力，高冲击，过载；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。 3.2 电容式传感器的应用 电容式传感器的优点 动态响应好 由于可动极板可以做得很小很薄，质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆Hz的频率下工作，特别适用于动态测量。系统工作频率高，它可用于测量高速变化的参数。 可以非接触测量 例如：非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时，具有误差平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。 3.2 电容式传感器的应用 电容式传感器的缺点 输出阻抗高，负载能力差 电容量受其电极的几何尺寸等限制，一般为几十到几百皮法，使传感器的输出阻抗很高。传感器的负载能力很差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象。 寄生电容影响大 初始电容量小，而连接传感器和电子线路的引线电缆电容（1～2m导线可达800pF）、电子线路的杂散电容以及传感器内极板与其周围导体构成的电容等所谓“寄生电容”却较大，不仅降低了传感器的灵敏度，而且这些电容（如电缆电容）常常是随机变化的，将使仪器工作很不稳定，影响测量精度。 3.2 电容式传感器的应用 变面积型角位