典型参量的测量及常用传感器的选择.ppt

用不同的刀具加工复杂的工件 2 压力、温度、振动传感器的选择 压力的测量：利用某些元件的物理效应与压力的关系，把被测压力转换成电量。 压力传感器的选择：电阻应变式压力传感器、电容式压力传感器、电感式压力传感器、压电式压力传感器。 温度的测量：利用某些物质的物理性质与温度的关系，把被测温度转换成电量。 温度传感器的选择：热电阻温度传感器、热电偶温度传感器、半导体温度传感器、红外温度传感器。 振动的测量：把被测量的振动参数，在一定的频率范围内接收下来并转换成电信号输出。 振动传感器的选择：电阻应变式、电感式、电容式、电涡流式，压电式、磁电式、霍尔式。 典型参量的测量及常用传感器的选择 1 位移的测量 2 压力、温度、振动传感器的选择 10.1 位移的测量 位移是机械量中最基本的参数, 也是机械量检测的重点。位移测量分为线位移和角位移测量。 常用的小位移测量传感器有电阻式、电感式、电容式、磁电式、霍尔式等。测量从几十纳米到几个毫米的位移。 常用的较大位移传感器有感应同步器、光栅、磁栅、编码器等，其特点是易实现数字化，精度高，抗干扰能力强，没有人为读数误差，安装方便，使用可靠等。 本章介绍利用数字式传感器——光栅传感器和编码器来测量线位移和角位移。 1.1 光 栅 传 感 器 一 、光栅（计量光栅的黑白透射光栅）的结构及工作原理 1. 光栅结构 在镀膜玻璃上均匀刻制许多有明暗相间、等间距分布的细小条纹（又称为刻线），这就是光栅。 图中a为栅线的宽度（不透光），b为栅线间宽（透光）， a+b=W称为光栅的栅距（也称光栅常数）。通常a=b=W/2，也可刻成a∶b=1.1∶0.9。目前常用的光栅每毫米刻成10、25、50、 100、250条线条。 透射光栅示意图 2. 光栅测量原理 把两块栅距相等的光栅（光栅1、光栅2）面向对叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线之间形成一个很小的夹角θ，这样就可以看到在近于垂直栅线方向上出现明暗相间的条纹，这些条纹叫莫尔条纹。 由图可见，在d-d线上，两块光栅的栅线重合，透光面积最大，形成条纹的亮带，它是由一系列四棱形图案构成的；在f - f线上，两块光栅的栅线错开，形成条纹的暗带，它是由一些黑色叉线图案组成的。因此莫尔条纹的形成是由两块光栅的遮光和透光效应形成的。 莫尔条纹的光学放大作用 光栅的刻线宽度W 莫尔条纹的间距L 莫尔条纹演示 莫尔条纹光学放大作用举例 例：有一直线光栅，每毫米刻线数为50，主光栅与指示光栅的夹角? =1.8?。 栅距： 栅距W =1mm/50=0.02mm=20?m 莫尔条纹的宽度： L≈W/θ=0.02mm/（1.8? *3.14/180?） =0.02mm/0.0314=0.637mm 所以，莫尔条纹的宽度是栅距的32倍。 莫尔条纹测位移具有以下三个方面的特点： （1）位移的放大作用： θ越小，L越大，这相当于把栅距W放大了1/θ倍。说明光栅具有位移放大作用， 从而提高了测量的灵敏度。 （2）莫尔条纹移动方向：如指示光栅沿着刻线垂直方向向右移动时，莫尔条纹将沿着主光栅的栅线向下移动；反之，当指示光栅向左移动时，莫尔条纹沿着主光栅的栅线向上移动。因此根据莫尔条纹移动方向就可以对指示光栅的运动进行辨向。 （3）误差的平均效应：莫尔条纹由光栅的大量刻线形成，对线纹的刻划误差有平均抵消作用，能在很大程度上消除短周期误差的影响。 二、光栅传感器的组成 光栅传感器作为一个完整的测量装置包括光栅读数头、光栅数显表两大部分。 光栅读数头利用光栅原理把输入量（位移量）转换成响应的电信号；光栅数显表是实现细分、辨向和显示功能的电子系统。 1. 光栅读数头 光栅读数头主要由标尺光栅、指示光栅、光路系统和光电元件等组成。 标尺光栅一般固定在被测物体上，且随被测物体一起移动，其长度取决于测量范围，标尺光栅的有效长度即为测量范围。 指示光栅比标尺光栅短得多，但两者一般刻有同样的栅距，使用时两光栅互相重叠，两者之间有微小的空隙。 指示光栅相对于光电元件（光信号转换为电信号）固定。 光栅读数头结构示意图 2. 光栅数显表 光栅读数头实现了位移量由非电量转换为电量，位移是向量， 因而对位移量的测量除了确定大小之外，还应确定其方向。 为了辨别位移的方向， 进一步提高测量的精度，以及实现数字显示的目的，必须把光栅读数头的输出信号送入数显表作进一步的处理。 光栅数显表由整形放大电路、细分电路、辨向电路及数字显示电路等组成。 光栅在机床上的安装位置（2个自由度） 光栅在机床上的安装位置（3个自由度） 数显表 光栅在机床上的安装