非接触测量激光光学探头光学精密工程.PDFVIP

第 5 卷　第 3 期 光学　精密工程 . 5, . 3 V o l N o 　 1997 年 6 月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G J un e, 1997 非接触测量激光光学探头 邹振书　　李喜增　　张景和　　高清峰 ( 中国科学院长春光学精密机械研究所, 长春 130022) 胡家升 (大连理工大学物理系, 大连 116023) 　　摘要　阐明了激光三角测量的原理, 推导了有关的公式, 对影响测量精度的诸因 素进行了分析。介绍了基于三角测量原理的非接触激光光学探头的设计, 给出了实验结 果, 展望了应用前景。 关键词: 三角测量; 激光探头; 非接触测量 1　引　　言 　　随着科学技术和工业生产的发展, 对表面轮廓、几何尺寸、粗糙度、各种模具及 自由曲面的 测量工作越来越多, 精度要求越来越高。 目前进行这种测量多半是采用探针式的接触方法, 而 接触方法有很多的局限性, 它不适于测量由易被擦伤的软质材料构成的高精度表面; 不适于测 量易污染的材料; 也不适于在恶劣环境下进行测量。因此研究非接触式的测量方法是十分重要 的, 也是测量工作所迫切需要的。 基于光学三角测量原理的非接触测量方法, 随着半导体激光器和横向效应的位敏探测器 的长足发展, 越来越被人们所重视, 其测量系统结构简单, 体积小、重量轻, 测量精度高, 并可在 线进行测量, 它完全可以弥补接触式测量的不足之处。它既可用来测量厚度、位移等, 又可作为 三座标测量机上的探头, 对待测件表面轮廓、粗糙度等进行扫描测量。 本文阐明了三角测量的原理, 推导了有关的公式, 介绍了我们研制的非接触激光探头, 分 析了提高测量精度的因素, 展望了这种非接触探头的应用前景。 收稿 日期: 1997 年 3 月 11 日 　“八五”攻关课题 84 光学　精密工程 5 卷 2　三角测量的原理 　　光学三角测量装置被作为距离传感 器以及用于三维座标测量系统, 通过连续 测量, 可感知位移变化或者测量诸如厚 度、表面轮廓及物体高度等物理尺寸。光 学三角测量的原理如图 1 所示, 从光源发 出的光束经照明光学系统聚焦到被测表 面 S 上, 形成光强分布均匀的小光斑, 被 待测表面散射光的一部分经过成像透镜 成像在光电探测器上。成像光点在光电探 测器上的位置是探头和被测表面之间距 离的函数, 当被测表面接近或离开探头 时, 在光电探测器上成像光点位置将产生 横向位移, 通过检测其像点的位移变化便 可求得物体表面位移变化。下面我们分析 物件表面位移 与光电探测器上成像光 点偏离中心距离 之间的关系。 由图2 我们求得: y = sin y = sin 　　 ( 1) x = - co s x = - co s 由放大率公式可知: y d 1 + x d 1 - co s = = (2) y d 0 - x d 0 + co s 整理得: sin d 1 - co s = (3) sin d 0 + co s (3) 式可改写为: ( ) = d 1 sin [ sin + + d 0 sin ] (4)