飞秒激光切割与微细电阻滑焊组合制备三维金属微结构-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 棽棸 暋 椄 暋 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶椄 暋暋暋暋暋 暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 椄 暋 暋 暋 斄旛棶棽棸棻棽 旂 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棸椄灢棻椄棻棻灢棻棾 飞秒激光切割与微细电阻滑焊组合 制备三维金属微结构 棻 棻灣 棻 棻 棻 棽 棽 棳 棳 棳 棳 棳 棳 徐 斌 伍晓宇 凌世全 吴世云 罗 烽 杜晨林 孙秀泉 暋 暋 棬 棳 椈 棻棶深圳大学 机电与控制工程学院 深圳市模具先进制造技术重点实验室 广东 深圳椀棻椄棸椂棸 棳 棭 棽棶深圳大学 电子科学与技术学院 深圳市激光工程重点实验室 广东 深圳 椀棻椄棸椂棸 椇 棬 摘要 提出了一种采用飞秒激光切割结合微细电阻滑焊制备 金属微结构的工艺方法 微型化双工位金属箔叠层制造 棾斈 棳棬 棭棭棳 暎 棳 法 并通过制备具有复杂形状的 微型腔模具验证了该工艺方法的可行性 首先 以厚度为 斖旈斻旘旓灢斈斕斚斖 棾斈 棻棸 旐 毺 棳 暍 棷 的棸斆旘棻椄斘旈椆不锈钢箔为基材 在 棻棻棸旐斪 的飞秒激光功率 棻棸棸 旐 旙的切割速度和棸棶椃椀 旐的切割补偿量下获得二维 毺 毺 棳 椈 棳 棳 微结构 并分析了激光功率和切割速度对切割精度的影响 然后 利用微细电阻滑焊对多层二维微结构进行热扩散焊接 棳 棬 棭 暎 椇 通过多层二维微结构的叠加拟合形成具有曲面特征的微型腔 并对焊接区进行了 射线衍射 分析 分析发现 斬 斬斠斈