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三维pn结在太阳能电池效率提高方面的应用探索 Investigation of a 3D PN Junction Structure in improving the efficiency of solar cells 、 摘要:绒面（硅表面的一种金字塔式结构）由于能有效的提高硅片对光的吸收率，目前在太阳能电池领域中已广泛使用。本文试图在绒面结构的基础上，探索通过电化学刻蚀的方法，在绒面上制作一层多孔硅，以增大硅片对光的吸收率；同时在此基础上用扩散的方法制作三维pn结，以提高太阳能电池在能量转化时的有效pn结面积，从而有效地提高太阳能电池的效率。实验中使用的电化学刻蚀法为阳极氧化法，即硅作为阳极，铂丝网为阴极，HF（掺入一定比例的水和乙醇或DMF）为电解液；硅片为p型，两面都抛光。 关键词： 太阳能电池 绒面 电化学刻蚀 多孔硅 三维pn结 Abstract:The texture surface,which can improve the light absorption rate of silicon effectively,has been widely used in solar cells. In this paper we try to gain a layer of porous silicon based on the texture surface by electrochemical etching method,so as to furtherly increase the light absorption.Then we will make 3D pn junction structure by diffusion on the presulfided silicon,which can largely increase the active junction area to improve the conversion efficiency of solar cells.In this experiment, the electrochemical etching method is electrochemistry anodic oxidation ,that is Si as anode,Pt as cathode,the mixture of hydrofluoric acid and organic solution as electrolyte solution.Silicon wafer ,p-type ,is polished with both sides. Key words: solar cells texture surface electrochemical etching porous silicon 3D pn junction 第一章引言 4 1.1 选题的背景和意义 4 1.2 论文的主要内容 5 第二章 基础知识 5 2.1.1半导体太阳能电池光电转换原理 6 2.1.2光诱导电子转移反应 6 2.2 太阳能电池简介 7 2.3 绒面 9 第三章多孔硅的制备 9 3.1多孔硅的分类 9 3.2多孔硅的形成机制 10 3.2.1多孔硅的制备 10 3.3.1 电化学刻蚀装置 11 3.3 实验装置 12 3.3.1电化学反应装置 12 3.4电化学刻蚀多孔结构的影响因素 14 第四章三位pn结的制作 17 4.1三维pn结 17 4.2三维pn结的制作工艺 17 4.3三维pn结与传统pn结比较 17 第五张总结 19 5.1结论 19 5.2 展望 20 参考文献 20 致 谢 22 第一章引言 1.1 选题的背景和意义 一方面，随着石化燃料资源（油、气、煤等）的开采，不可再生资源的储量将迅速减少；另一方面，全球能耗却成指数增长。可以预见在不久的将来，石油、煤炭、天然气的不可再生资源必将枯竭，要维持人类社会的继续发展，必须要有新的能源出现，风能、热能、水能、生物能、太阳能等可再生能源都是可选能源，而太阳能则是其中最有希望的新能源，这是因为太阳内部的热核反应，每秒产生的能量多达4×10焦耳，恒定输出寿命将大于100亿年，太阳辐射到地球的太阳能约为1km/m，超出目前人类能源消耗的数万倍（院士文章）；可见太阳能取之不尽用之不竭，开发和利用太阳能，特别是发展太阳能光伏电池产业具有十分重要的意义。 1.2 论文的主要内容 目前，关于太阳能电池的理论研究已比较完善，单晶硅太阳能电池的最高转换效率（η）达到了24.9%，已接近其理论极限值25%，但由于生产成本偏高，离大面积使用还有一定距离。本文介绍了太阳能产业发展的现状，以及太阳能还不能大范