微电子电路导论1.pptVIP

EPROM 划分集成电路规模的标准 类别 数字集成电路 模拟集成电路 MOSIC 双极IC SSI 10^2 100 30 MSI 10^2~10^3 100~500 30~100 LSI 10^3~10^5 500~2000 300 VLSI 10^5~10^7 2000 ULSI 10^7~10^9 GSI 10^9 SSI: Small Scale IC MSI: Medium Scale IC LSI: Large Scale IC VLSI: Very Large Scale IC ULSI: Ultra Large Scale IC GSI: Gigantic Scale IC 超大 巨大 特大 集成度是集成电路发展水平的一个重要标志。 集成电路从1958年发明以来，一直以惊人的速度在发展。最初的小规模集成电路其集成度只有几十个晶体管，而现在巨大规模集成电路其集成度已达到上亿个晶体管（目前最高集成度已经超过10亿个晶体管） 特征尺寸 CMOS工艺的特征尺寸 特征尺寸用来衡量集成电路制造工艺水平 什么是特征尺寸？ 特征尺寸是指集成电路中半导体器件的最小尺寸，如MOS晶体管的栅极长度。 特征尺寸是衡量集成电路制造和设计水平的重要尺寸。 特征尺