先进制造技术李伟第3章-微细加工技术.pptVIP

第3章 微细加工技术 第3章 微细加工技术 3.1 微机械及微细加工技术的概念与特点 3.1.1 微机械及其特征 3.1.1 微机械及其特征 3.1.1 微机械及其特征 3.1.1 微机械及其特征 3.1.2 微细加工技术的概念与特点 3.2.2 离子束加工技术 (4)离子束曝光加工 离子束曝光的优点是有高灵敏度和高分辨率。由于离子质量远大于电子，在基片上产生背散作用小，引起的邻近效应也小，因此能够对线宽小于0.1μm的精密微细图形曝光。同时，由于离子直径、质量比电子大，射人抗蚀剂后受到的阻力也大，离子在抗蚀剂层内的射程也短，离子能量能被抗蚀剂充分吸收，这就提高了抗蚀剂的灵敏度 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 1、激光的产生及特性 激光是一种光，它是通过原子受激辐射发光和共振放大而形成的。 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 激光特有的特性： (1)强度高、亮度大 (2)单色性好，波长谱线宽度狭窄 (3)相干性好，相干长度长 (4)方向性好 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 2．激光加工的机理 3．激光加工设备 激光加工设备主要由激光器、电源、光学系统和机械系统等组成 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 激光器 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 4、激光加工的特点及其应用 (1)加工精度高 (2)加工材