原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
规范-国家试验研究院
財團法人國家實驗研究院
國家奈米元件實驗室
『』
招標規範書
research 2300Exlean Flex介電質蝕刻機
2.2 設備適用晶圓規格
2.2.1 尺寸： 2.2.2 晶圓固定方式靜電吸附式(ESC)。
採購項目：
3.1 採購規格為原廠Lam research 2300Exlean Flex介電質蝕刻機之料號:
項目 說明與規格 單位 數量 1 716-016763-001
RING,FILLER,INV STEP,DFC 1 set 2 716-015595-002
RING,FOC,STEPPED,DFC200M 1 set 3 716-016831-002
RING,WAP,QTZ,GENERIC,200 1 set 4 716-015590-001
RING,H EDGE,SI,H NARROW 1 set 5 716-005205-003
PL,CVR,STEP,QTZ,200MM,23 1 set 6 716-016830-002
RING,WAP,TWIST TOP,STEPP 1 set
四、 驗收內容
4.1 得標廠商必須提出所有消耗性零件與原廠Lam research 2300Exlean Flex介電質蝕刻
機設備零件之相容性證明文件。
五、 保固
5.1 所有的消耗性零件更換到設備上時必須保固為三個月。
六、履約期限
6.1 民國98年12月15日前完成交貨。
購案名稱：
頁 數：
2 OF購案編號：
本文件為財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室專有之財產，非由書面許可，不准透露或使用本文件，亦不准複製或轉變成任何其他形式使用。
財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室
購案名稱：
頁 數：
1 OF購案編號：
本文件為財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室專有之財產，非由書面許可，不准透露或使用本文件，亦不准複製或轉變成任何其他形式使用。
購案名稱：
頁 數：
1 OF購案編號：
文档评论（0）