深冷水气泵阱组合泵的进展情况-深圳摩尔真空技术有限公司.DOCVIP

无扩散泵、无罗茨泵、清洁、节能的蒸发镀膜设备 分子增压泵1，龚建华2，郑主安3，蒋新元3，潘尚尧4，王树理5，王雨5 1．深圳大学2．摩尔市真空技术有限公司大型蒸发镀膜 1．油蒸汽污染能耗高大型蒸发镀膜设备高蒸发镀膜近年来，部分设备开始采用（-120℃）与扩散泵油蒸汽污染有所降低未能耗和费用增加，未能在大范围推广。深圳大学原创性科技成果“分子增压泵”实现了产业化如图1、2所示该泵能耗低，为罗茨泵的1%，扩泵的20%，的%。 ■ 泵口可以360°转动。 ■ 能获得十分清洁的真空 最近，深冷水汽泵泵 上述二种新型的抽气装备，为攻克蒸发镀膜设备难题提供了新路子，詳见参考文献1。 水泵 ■ 粗抽压强提高到50~100Pa，缩短抽气时间一半，节省粗抽能耗50%。 ■ 采用分子增压泵和深冷水汽泵罗茨泵水泵水汽泵 水汽泵3）如图2所示，4台分子增压泵20 Pa抽速已达800L/s，故本设备不需要罗茨泵。分子增压泵抽速随真空度提高迅速上升，抽气效果明显优于罗茨泵。 2．镀膜室抽气曲线 本设备精抽压强与时间关系如图6所示。精抽4min，镀膜室压强降至2×10-2 Pa，已达到蒸发镀膜要求。精抽10分钟进10-3Pa。 四、社会、经济效益 五、讨论 目前，许多水汽泵生产厂未提供泵的饱和吸附量，即使提供，也与高压强下运行的状况不符。我们发现，水汽泵在0.