以射频磁控溅镀法制备氢感测用矽锗热电薄膜.pdfVIP

下载本文档

1
0
约2.77万字
约 24页
2017-11-11 发布于天津
举报
版权申诉

以射频磁控溅镀法制备氢感测用矽锗热电薄膜.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告以射頻磁控濺鍍法製備氫感測用矽鍺熱電薄膜(第 2年) 研究成果報告(完整版) 計畫類別：個別型計畫編號： NSC 98-2221-E-005-032-MY2 執行期間：99年08月01日至 100年07月31日執行單位：國立中興大學材料科學與工程學系（所）計畫主持人：張立信報告附件：出席國際會議研究心得報告及發表論文處理方式：本計畫可公開查詢中華民國 100 年 09月 30 日 ■成果報告行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告以射頻磁控濺鍍法製備氫感測用矽鍺熱電薄膜計畫類別： ■個別型計畫 □整合型計畫計畫編號： NSC 98 －2221 －E －005 －032 －MY2 執行期間： 98 年8月 1日至 100 年7月 31日執行機構及系所：國立中興大學材料科學與工程學系所( ) 計畫主持人：張立信共同主持人：計畫參與人員：成果報告類型依經費核定清單規定繳交( ) ：□精簡報告 ■完整報告本計畫除繳交成果報告外，另須繳交以下出國心得報告： □赴國外出差或研習心得報告 □赴大陸地區出差或研習心得報告 ■出席國際學術會議心得報告 □國際合作研究計畫國外研究報告處理方式：除列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢中華民國一百年九月三十日目錄頁次摘要及關鍵詞 II Abstract and Keywords III 前言 1 研究目的 1 文獻探討 1 研究方法 2 結果與討論 3 參考文獻 11