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MOCVD法制备GaN基LED外延尾气处理技术进展
第31卷 第3期 轻工机械 V0l_31No.3
2013年 6月 L辔htIndustryMachinery Jun.2013
[环保 ·安全] DOI:10.3969/j.issn.1005—2895.2013.03.027
MOCVD法制备 GaN基 LED外延
尾气处理技术进展
欧阳欣
(广东轻工职业技术学院 电子通信工程系,广东广州 510300)
摘 要:MOCVD(金属有机物化学气相外延)法制备 LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放。针对
尾气的不同组分,对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各 自存在的缺陷和弊端。从回收利用和节能减排两个角度
出发,在原有方法的基础上进行研究改进,提出碱土金属氯化物吸附法和间接燃烧法两种新型尾气处理技术,实现了氨
气的回收利用,降低处理过程 中的原料投入与能源消耗,并归纳总结了行业内尾气处理与排放所面I临的问题及挑战。
关 键 词:半导体照明;尾气处理;吸附;间接燃烧
中图分类号:X701.7 文献标志码:A 文章编号:1005—2895(2013)03-0096—03
Researchand ImprovementofExhaustTreatment
inLED EpitaxybyM OCVD
0uYANG Xin
(DepartmentofElectronicandCommunicationEngineering,GuangdongIndustxTTechnicalCollege,Guangzhou510300,China)
Abstract:TheexhaustinLEDepitaxialpreparationbyMOCVD (metalorganicchemicalvaporphaseepitaxy)hasgreat
harm,which needstobetreated beforedischarge.Severalexistingtechnologiesofgastreatmentwasanalyzed for
differentcomponentsoftheexhaust,andthedefectsandshortcomingsofeachmethodwaspointedout.Startingfrom the
twoanglesofrecyclingandenergysaving,theoriginalmethodswasimprovedbasedonthestudy.Adsorptionofalkaline
earthmetalchloridemethodachievedtherecyclingofammonia,andtheindirectcombustionmethodreducedtheraw
materialinputsandenergyuse.Atlast,theproblemsandchallengesfacedbyindustryintheexhausttreatmentwere
summarized.
Keywords:semiconductorlighting;exhausttreatment;adsorption;indirectcombustion
半导体照明技术的发展是继明火、白炽灯和荧光 机化合物原料的直排会造成资源的浪费5J。因此,采
灯之后的第 4次照明革命 。以LED为代表的半导体 用合理的方法处理排放尾气,既能解决污染又能充分
照明被世界各国公认为是最有潜力的绿色高效照明产 利用资源,在实施可持续发展战略的进程中具有重要
业 I。J。在 目前的半导体照明领域中,GaN基蓝光大 意义
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