Spin-Coater操作说明书-高雄第一科技大学.PDFVIP

微系統製造實驗室─光阻塗佈機操作手冊 Spin-Coater 操作說明書 1. 機台說明 1.1 機台外觀及週邊 光阻塗佈機 真空幫浦 高壓空氣閥 光阻擦拭布回收桶 光阻塗布機及真空幫浦插座 1 國立高雄第一科技大學機械系 余志成 ©2004 微系統製造實驗室─光阻塗佈機操作手冊 (f) (a) 真空管接頭 (b) 光阻塗布機開關 (c) 24V DC 電源線(控制真空閥) (d) AC 電源線 (a) (e) 高壓氣管接頭(避免光阻進入主軸) (e) (f) 排液導出接頭 (b) (c) (d) 1. 啟動/停止鍵 2. 吸真空鍵 3. 特殊功能鍵 4. 程式選擇鍵 *以下按鍵只在PGM 模式下操作 【程式設定模式】 5. 選取(程式步驟)鍵 6. 刪除(程式步驟)鍵 7. 增加(程式步驟)鍵 8. 螢幕游標鍵(左””/右””) 9. 數值鍵(增加’’’’/減少””) 10. 輸入鍵 2 國立高雄第一科技大學機械系 余志成 ©2004 微系統製造實驗室─光阻塗佈機操作手冊 1.2 LCD 顯示器 目前操作步驟/總操作步驟 真空值 程式’’A’’ 目錄下 運轉模式 設定時間 目前運轉時間 設定轉速 目前轉速 1.3 操作鍵盤 操作按鍵 1. RUN/STOPP : 啟動鈕 。 2. VACUUM : 真空吸附鈕 。 3. F1 : 特殊功能鍵，可用來選擇其他模式 （切換設定參數以及開始旋鍍 用）。 4. PROGRAM SELECT : 程序選擇鍵 。 編製程序按鍵 5. STEP : 編輯程序的步驟鍵 。 6. DEL STEP : 編輯程序時可用來刪除其中步驟 。 7. ADD STEP : 編輯程序時可用來增加其中步驟 。 ＝＞程序刪除或增加均從最後面累加，也就是無法穿插程式或從前面的 程式進行刪除 8. Cursor (/) : 編輯程序時游標移動鍵 。 9. Value : 編輯程序時用來輸入參數 。 10. ENTER :確認鍵，按DEL STEP 鍵後須按此鍵確定 。 3 國立高雄第一科技大學機械系 余志成 ©2004 微系統製造實驗室─光阻塗佈機操作手冊 2. 夾盤 (Chuck) 2.1 夾盤的種類 4〞晶片的夾盤 破片的夾盤 (1) 上圖為光阻塗布機的夾盤，分別為4〞晶片的夾盤及破片的夾盤。 (2) 操作機台時，必須使用適合晶片大小的夾盤 。 (3) 夾盤的中間有一個小孔 ，為晶圓真空吸孔 ，絕對不得有任何雜物堵住 此孔。（清洗時請避免丙酮溢入） 3. 抽風櫃使用說明 3.1 抽風櫃外觀