碱性溶液环境中CrSiNiAl电阻薄膜的电学稳定性-中国有色金属学报.PDFVIP

第 17 卷第 8 期 中国有色金属学报 2007 年 8 月 Vol.17 No.8 The Chinese Journal of Nonferrous Metals Aug. 2007 文章编号：1004-0609(2007)08-1240-07 碱性溶液环境中CrSi(Ni, Al) 电阻薄膜的 电学稳定性及劣化机理 1 2 2 3 3 张玉勤 ，董显平 ，吴建生 ，蒋业华 ，周 荣 (1. 昆明理工大学 云南省新材料制备与加工重点实验室，昆明 650093 ； 2. 上海交通大学 材料科学与工程学院，上海 200030 ； 3. 昆明理工大学 机电工程学院，昆明 650093) 摘 要：研究磁控溅射法制备的 Cr-Si-Ni 和 Cr-Si-Ni-Al 电阻薄膜在模拟的碱性环境(NaOH 溶液) 中，介质溶液浓 度和温度对薄膜电学稳定性的影响及其机理。结果表明：经热处理后呈纳米晶结构的 2 种薄膜在低温低浓度的碱 性溶液中具有较好的电学稳定性和耐腐蚀性能，但是，随着溶液浓度和温度的增大其电学稳定性和耐腐蚀性能急 剧下降，特别是在高温高浓度的碱性溶液中薄膜在很短时间内就出现性能劣化现象；2 种薄膜在低温低浓度的碱 性溶液中能够迅速地在膜层表面形成稳定的钝化保护层，从而有效地抑制溶液离子对薄膜内层的进一步腐蚀；而 在高温或高浓度的碱性溶液中薄膜表面难以形成稳定的钝化保护层。 关键词：CrSi(Ni, Al) ；电阻薄膜；碱性环境；电学稳定性；腐蚀行为；劣化机理 中图分类号：TM 241.1; TG 172.6 文献标识码：A Electrical stability and degradation mechanism of CrSi(Ni, Al) resistive films in alkaline aqueous environments ZHANG Yu-qin1 2 2 3 3 , DONG Xian-ping , WU Jian-sheng , JIANG Ye-hua , ZHOU Rong (1. Key Laboratory of Advanced Materials of Yunnan Province, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650093, China; 2. School of Materials Science and Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200030, China; 3. School of Mechanical and Electrical Engineering, Kunming University of Science and Technology,