脉冲雷射钻孔之移除机制及烟尘效应研究.PDFVIP

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 脈衝雷射鑽孔之移除機制及煙塵效應研究 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 99-2221-E-006-075- 執 行 期 間 ：99年08月01日至 100年10月31日 執 行 單 位 ：國立成功大學機械工程學系（所） 計 畫 主 持 人 ： 林震銘 計畫參與人員： 碩士班研究生-兼任助理人員：蔡耀庭 碩士班研究生-兼任助理人員：陳皇碩 碩士班研究生-兼任助理人員：林昇緯 碩士班研究生-兼任助理人員：趙文祺 碩士班研究生-兼任助理人員：吳建霖 碩士班研究生-兼任助理人員：張恒瑞 報 告 附 件 ： 出席國際會議研究心得報告及發表論文 公 開 資 訊 ： 本計畫涉及專利或其他智慧財產權，2年後可公開查詢 中 華 民 國 100 年 12月 22 日 中 文 摘 要 ： 本研究探討脈衝雷射鑽孔中基材孔洞的深度與孔洞形貌之成 因。由於雷射鑽孔引發之煙塵現象直接遮蔽雷射光源，造成 雷射能量無法完全加熱靶材，以致加工移除率減低。藉由理 論計算與實驗觀察探討雷射鑽孔能量之散射衰減，分析雷射 能量與鑽孔形貌之關係。本計劃針對雷射鑽孔中基材煙塵凝 結而成的微小粒子，造成雷射光源散射、導致雷射能量衰減 之現象著手，模擬分析靶材煙塵粒子造成雷射能量衰減，與 孔洞生成移除率的影響。建構煙塵生成物理模型，藉由相關 理論基礎，撰寫數值程式，模擬靶材加熱、蒸發、成核粒子 及對雷射光源散射之過程。計算雷射光源的衰減比例及基材 移除量，進行脈衝雷射鑽孔實驗，由數值結果說明脈衝雷射 鑽孔之微觀物理現象，並與巨觀鑽孔實驗之結果相比較，同 時藉由流場觀測驗證煙塵數值計算之流場速度及影響範圍。 中文關鍵詞： 雷射鑽孔, 煙塵效應. 英 文 摘 要 ： This study investigates the effects of the laser induced plume on the laser absorption and drilling profiles in the pulsed laser drilling. Both the numerical and experimental approaches have been made to establish the physical model of the plume formation and material removal in laser drilling. In the laser drilling process, the substrate material is heated and vaporized by laser beam and the vaporized matters eject