第七章 微米、纳米技术.pptVIP

第七章 微米、纳米技术;学习目标： 通过本章的学习了解微米、纳米技术的概念，侧重对纳米技术的意义的理解，知悉纳米材料的性质，了解纳米技术的应用。;第一节 微米技术 微米技术是指在微米级（0.1-100微米）的材料上设计、制造、测量、控制和应用的技术。目前，微米技术的研究与应用涉及以下几个方面： 1.微小尺度的设计应用 研究微型系统的设计需要形成一整套新的设计理论方法，例如：微动力学、微流体力学、微热力学、微机械学、激光学等。以便解决微型系统设计中的尺寸效应、表面效应、误差效应及材料性能的影响。;2.微加工技术 微加工技术包含超精机械加工、IC工艺、化学腐蚀、能量束加工等诸多方法。在微细加工甚至纳米加工领域，较为成熟的技术是IC工艺硅加工技术、离子束加工、分子束加工、激光束加工以及电化学加工、精密电火花加工等。 3.精密测量技术 精密测量技术是具有微米及亚微米测量精度的几何量与表面形貌测量技术。目前精密测试技术的一个重要研究对象是微结构的力学性能，如谐振频率、弹性模量、残余应力的测试和微结构的表面形貌及内部结构，如微体缺陷、微裂缝、微沉积微的测试等。;第七章 微米、纳米技术;第七章 微米、纳米技术;从迄今为止的研究来看，关于纳米技术分为三种概念： 第一种： 是1986年美国科学家德雷克斯勒博士在《创造的机器》一书中提出的分子纳米技术。根据这一概念，可以使组合分子的机器实用化，从而可以任意组合所有种类的分子，可以制造出任何种类的分子结构。 这种概念的纳米技术还未取得重大进展。; 第二种概念把纳米技术定位为微加工技术的极限。也就是通过纳米精度的加工来人工形成纳米大小的结构的技术。这种纳米级的加工技术，也使半导体微型化即将达到极限。现有技术即使发展下去，从理论上讲终将会达到限度，这是因为，如果把电路的线幅逐渐变小，将使构成电路的绝缘膜变得极薄，这样将破坏绝缘效果。此外，还有发热和晃动等问题。 为了解决这些问题，研究人员正在研究新型的纳米技术。; 第三种概念是从生物的角度出发而提出的。本来，生物在细胞和生物膜内就存在纳米级的结构。 DNA分子计算机、细胞生物计算机的开发，成为纳米生物技术的重要内容。 1993年，第一届国际纳米技术大会(INTC)在美国召开，将纳米技术划分为6大分支：纳米物理学、纳米生物学、纳米化学、纳米电子学、纳米加工技术和纳米计量学，促进了纳米技术的发展。;4.纳米技术的研究应用 当前纳米技术的研究和应用主要在材料和制备、微电子和计算机技术、医学与健康、航天和航空、环境和能源、生物技术和农产品等方面。 用纳米材料制作的器材重量更轻、硬度更强、寿命更长、维修费更低、设计更方便。利用纳米材料还可以制作出特定性质的材料或自然界不存在的材料，制作出生物材料和仿生材料。;第七章 微米、纳米技术;第七章 微米、纳米技术;第七章 微米、纳米技术;第七章 微米、纳米技术;1.什么是先进制造技术？其特点有哪些？ 2.RP是什么？其特点有哪些？ 3.VM的概念是什么？其特点有哪些？ 4.FMS的特点是什么？它的效益主要体现在哪几个方面？ 5.试说明FMS的组成？ 6.什么是并行工程？ 7.智能制造的三项关键技术是什么？ 8.绿色制造的目的是什么？与绿色???品有什么关系？ 9.简述电子束、离子束加工的原理、特点和应用？ 10.何谓纳米技术？纳米技术有哪些特点？