数控原理与系统第2版工业和信息化高职高专“十二五”规划教材立项项目课件作者陈富安第3章节数控位置检测装置.pptVIP

图3.23 激光干涉法测距波形图 激光干涉仪就是利用这一原理使激光束产生明暗相间的干涉条纹，由光电转换元件接受并转换为电信号，经处理后由计数器计数，从而实现对位移量的检测。用激光干涉法测距的精度极高。 激光干涉仪是由激光镜、稳频器、光学干涉部分、光电接受元件、计数器和数字显示器组成。目前应用较多的有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪。 2.单频激光干涉仪 如图3.24所示，为单频激光干涉仪原理图，激光器1发出的激光束，经镀有半透明银箔层的分光镜5将光分成两路，一路折射进入固定不动的棱镜4，另一路反射进入可动棱镜7。经棱镜4和7反射回来的光重新在分光镜5处汇合成相干光束，此光束又被分光镜分成两路，一路进入光电元件3，另一路经棱镜8反射至光电元件2。 图3.24 单频激光干涉仪原理图 由于分光镜5上镀有半透明反射的金属膜，所以产生的折射光和反射光的波形相同，但相位上有变化，适当调整光电元件3和2的位置，使两光电信号相位差90°。工作时两者相位超前或滞后的关系，取决于棱镜7的移动方向，当工作台6移动时棱镜7也移动，则干涉条纹移动，每移动λ/2，光电信号变化一个周期。如果采用四倍频电子线路细分，采用波长λ=0.6328μm的氦-