基于单壁碳纳米管阵列的力敏传感器.pdfVIP

第 46卷第 l8期 机 械 工 程 学 报 V_01．46 No．18 2010 年 9 月 JOURNAL OFM ECHANICAL ENGINEERING Sep． 20 1O DoI：lO．3901／J ．2010．18．013 基于单壁碳纳米管阵列的力敏传感器冰 唐一科 1,4 郑富中1,2,3 周兆英2,3 杨 兴2，。吴 英4 f1．重庆大学机械工程学院 重庆 400044； 2．清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室 北京 100084； 3．清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京 100084； 4．重庆科技学院电气与信息工程学院 重庆 401331) 摘要：利用传统的硅微加工技术，在硅片上制作出平行的微电极对，然后对硅片进行深刻蚀穿通，在微电极对之间获得长方 形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上