第五章 压电式传感器2004.ppt

第五章 压电式传感器;目前多用于加速度和动态力学或压力的测量。 压电传感器是一个机电转换元件。 应用： 拾音器 压电引信 燃气点火具 玻璃破碎检测 ;§5.1 压电效应;晶体受作用力产生的电荷量与外力的大小成正比，这种机械能转换为电能的现象称为正压电效应。 反之，如果给晶体施加以交变电场，晶体本身则产生机械变形，这种现象称为逆压电效应，又称电致伸缩效应。 压电效应具有可逆性。;一、石英晶体的压电效应;§5.1 压电效应;石英晶体的压电效应可以概括为： ①无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间呈线性关系； ②晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； ③石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的。 ;二?、压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷属于铁电体一类的物质，是人工制造的多晶压电材料，它具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。电畴是分子自发形成的区域。在无外电场作用时，各个电畴在晶体上杂乱分布，在外电场作用下被极化，电畴变为有序排列。; 但是，当把电压表接到陶瓷片的两个电极上进行测量时，却无法测出陶瓷片内部存在的极化强度。这是因为陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来，即在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。这些自由电荷与陶瓷片内的束缚电 荷符号相反而数量相等， 它起着屏蔽和抵消陶瓷 片内极化强度对外界的 作用。所以电压表不能 测出陶瓷片内的极化程 度，如图。 ; 如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压力F，如图，陶瓷片将产生压缩形变（图中虚线），片内的正、负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变小。因此，原来吸附在电极上的自由电荷，有一部分被释放，而出现放电荷现象。当压力撤消后，陶瓷片恢复原状(这是一个膨胀过程)，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化 强度也变大，因此电极上又吸 附一部分自由电荷而出现充电 现象。这种由机械效应转变为 电效应，或者由机械能转变为 电能的现象，就是正压电效应。 ; 同样，若在陶瓷片上加一个与极化方向相同的电场，如图，由于电场的方向与极化强度的方向相同，所以电场的作用使极化强度增大。这时，陶瓷片内的正负束缚电荷之间距离也增大，就是说，陶瓷片沿极化方向产生伸长形变（图中虚线）。同理，如果外加电场的方向与极化方向相反，则陶瓷片沿极化方向产生缩短形变。这种由于电效应而转变为机械效应或者由电能转变为机械能的 现象，就是逆压电效应。; 由此可见，压电陶瓷所以具有压电效应，是由于陶瓷内部存在自发极化。这些自发极化经过极化工序处理而被迫取向排列后，陶瓷内即存在剩余极化强度。如果外界的作用（如压力或电场的作用）能使此极化强度发生变化，陶瓷就出现压电效应。此外，还可以看出，陶瓷内的极化电荷是束缚电荷，而不是自由电荷，这些束缚电荷不能自由移动。所以在陶瓷中产生的放电或充电现象，是通过陶瓷内部极化强度的变化，引起电极面上自由电荷的释放或补充的结果。;§5.2 压电材料;压电材料的主要特性参数;压电材料的主要特性参数;一、石英晶体（SiO2） 优点： 绝缘性能好，机械强度高； 压电温度系数小，居里温度点高； 缺点： 资源少，价格较贵； 压电系数低。 只在标准传感器或精度要求较高的传感器中使用。;二、压电陶瓷 是一种人工制造的多晶压电材料，它由无数个细微的单晶组成。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，在无电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。 必须对压电陶瓷进行极化处理，在陶瓷上施加外电场。 在压电传感器中多采用钛酸钡及锆钛酸铅压电陶瓷作为压电元件。;钛酸钡的压电系数是石英的50倍，但居里温度点只有120℃，使用温度不超过70℃，温度稳定性和机械强度都不如石英。 目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅，居里温度点300℃，性能稳定，有较高的介电常数和压电系数。;压电陶瓷可以按受力和变形的不同形式制成各种形状的压电元件。;三、压电式传感器 压电式传感器的基本原理就是利用压电材料的压电效应，当有力作用在压电材料上时，传感器就有电荷输出。;并联使用时，电荷量增加一倍，电容量也增加一倍，输出电压不变，适合测量慢变信号并以电荷作为输出的场合； 串联使用时，电荷量不变，电容量减小一半，输出电压增大一倍，适用于以电压作输出信号，并且测量电路输入阻抗很高的场合。;§5.3 压???式传感器的测量电路;压电元件的等效电路;完整等效电路;二、压电传感器的测量电路;压电传感器的测量电路;就可以认为Uim与频率无关，?0表示测量电路时间常数的倒数。 τ=R(Ca+Cc+Ci) ω0 =1/ τ;2.