离子束辅助沉积硅薄膜负极材料的研究.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 (% 3 $$- 3 ， ， ， + )(% F )3 JGR $$- （ ） #$$$9’-$1$$-1(% $3 1($-9$, /5E/ O6PCQ5/ CQFQ5/ !$$- 50;A ) O0RS ) C? ) 离子束辅助沉积硅薄膜负极材料的研究! ! 陈立宝 虞红春 许春梅 王太宏 （湖南大学微纳技术研究中心，长沙 #$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$% ## ’ $$% ## #( 采用离子束辅助沉积法制备了锂离子电池硅薄膜负极材料，研究了硅薄膜的晶体结构、表面形貌和电化学性 能 研究结果表明：硅薄膜是非晶态的结构；非晶态硅薄膜发生嵌脱锂反应的电位分别为 与 和 ) $ *$’ + $ *’ + $ * #, + 与$ *- +；硅薄膜表现出很高比容量和充放电效率，其可逆比容量和库仑效率分别为’#’ * ./01 2 和%3 * #4 ；硅薄 膜具有优异的循环性能，在 倍率下 次循环后容量保持率为 $ *(5 $$ - * 4 ) 关键词：硅薄膜，离子束辅助沉积，锂离子电池，负极材料 ： ， !## %##(5 %,$6 提高了硅的循环性能，但无法满足实用化的要求) ［ ］ # #* 引 言 7GHI@H:G 等 在# 年研究了硅薄膜用作锂离子 电池负极材料的电化学性能，硅薄膜表现出较高的 由于便携式电子设备和电动汽车的快速发展和 比容量和较好的循环性能 因此，人们研究了各种方 ) ［， ］ 广泛应用，对于高能量密度、长循环寿命的锂离子电 3 #( 法制备的硅薄膜负极材料) JGA2 等 研究了化学 池的需求十分迫切 目前商品化使用的锂离子电池 ) 气相沉积法（ ）制备的硅薄膜负极材料 虽然该