现在最普及的超微细加工技术是聚焦离子束focusedionbeamFIB.PPTVIP

●在1960年，江崎在 IBM研究所獲得更大的進展，這就是半導體超晶格的發明。這是一種在自然形成的晶體晶格加入人工晶格，而得到嶄新性質的劃時代技術。因為這個技術改變了半導體元件的材料開發，同時開啟了製作半導體雷射等光通訊光源的開端。 ●江崎自己認為超晶格是個衝擊性非常大的發明，事實上，引用超晶格的論文篇數壓倒 性地多於引用江崎二極體的論文篇數，所以即使沒有江崎二極體， 她也認為可以因超晶格的發明而獲得諾貝爾獎。這種超晶格的概念 已經提示了奈米級人工晶格結構的創造，成為在資訊通訊領域上的奈米科技引爆劑。 對奈米科技有貢獻的科學人員 ◆畢尼革 (1947～) 羅勒 (H. Rohrer)和畢尼革 (G. Binnig)因為掃描型穿隧顯微鏡(STM)的發明而獲頒諾貝爾物理學獎。他們一直在Zurich的IBM研究所工作，這是IBM第一次因為公司本身的研究獲得諾貝爾獎，所以STM的普及對於IBM公司的提昇有很大的貢獻 ◆畢尼革 (1947～) 關於 STM的開發，有著這樣的傳聞：他們因 為STM探針尖端的曲率半徑大約是0.1微米，所以估計顯微鏡的 空間分解能力頂多約為 4奈米。但是在實際上開發 STM的實驗 中，獲知顯微鏡有著原子級的分解能力(0.1奈米以下)。這是因 為探針尖端突起的1個原子是用於影像化上，所以實效性的曲率半徑就是原子的曲率半徑 (大約0.1奈米)。由此可見，在諾貝爾獎