基于MEMS技术的汽车传感器研究电子信息工程毕业论文.doc

学 生 毕 业 设 计（论 文） 课题名称 基于MEMS技术的汽车传感器研究 姓 名 学 号 院 系 物理与电信工程系 专 业 电子信息工程 指导教师 2008 年 5 月 25 日  目 录 摘 要 1 关键词 1 Abstract 2 Key Words 2 1 引言 3 2 可靠性研究 3 3 寿命分布模型的描述 8 4 MEMS汽车传感器的研究应用现状，以及介绍几种MEMS汽车传感器 9 4.1 研究应用现状 9 4.2 几种MEMS汽车传感器的介绍 10 4.2.1 压力传感器 10 4.2.2 微加速度计 10 4.2.3 微机械陀螺 11 5 结束语 12 参考文献 12 致谢 13 基于MEMS技术的汽车传感器研究 摘 要：随着汽车传感器的迅速发展和MEMS（微机电系统）技术的深入研究，基于MSMS技术的汽车传感器越来越多地用于汽车制造技术中。本文主要是研究汽车电气系统中MEMS传感器的可靠性以及其研究应用现状，并提出了基于阶段主导可靠性因素的MEMS汽车传感器可靠性研究方法；本文也讨论了汽车应用环境下的失效模式和失效机理；并初步探讨如何对MEMS传感器系统寿命分布模型进行定量描述；本文还介绍了几种MEMS汽车传感器；本文也对基于MEMS技术的汽车传感器今后的发展研究进行了探讨。 关键词：MEMS技术 汽车传感器 可靠性 Based on MEMS technology automobile sensors research Abstract: Along with the automobile sensors rapid development and the technical deep research of MEMS(microcomputer electrical system series), automobile sensor which is based on the MSMS apply more and more on the automobile technology. This thesis has analyzed the present situation and reliability design method; And how to carry on the quota description to the MEMS sensor system life distribution model to make the preliminary discussion; It also has summarized the MEMS automobile sensors classification, the manufacture processing and the craft. Finally has carrieon the discussion to the MEMS automobile sensor reliable presents development research. Key Words: MEMS technology Automobile sensor Reliability 1 引言 未来的汽车用传感器技术，总的发展趋势是微型化、功能化、集成化和智能化。微机电系统（MEMS）是一种多学科交叉技术，MEMS技术与智能化、集成化三者有着密切的联系，可以看成一个有机的整体。MEMS技术是微型化、集成化的基础，在传感器微型化和高度集成下，传感器可以具有诸多的信息检测与控制功能，从而实现了智能化。MEMS技术已在传感器领域得到了广泛应用，例如MEMS加速度计、MSMSMEMS传感器是利用微电子机械加工技术将微米级的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上，它具有体积小、价格便宜、可靠性高、工作寿命长等特点，并且可以明显提高系统测试准确度，可以说，以MEMS技术为基础的微型化、多功能化、集成化和智能化的传感器将逐步取代传统的传感器，成为汽车传感器的主流。MEMS汽车传感器的可靠性渐渐成为微系统技术工程研究的焦点，可靠性是MEMS汽车传感器设计与制造需要考虑的关键因素，高可靠性的MEMS传感器对于汽车人员安全与资源节约和环境保护作用巨大。可靠性是指在规定时间与条件下，一种设备各方面性能应满足一定的要求。虽然，在产品推向市场时，对产品质量的主要要求是按客户的需求使产品具有高的生产率且功能完备，但是，可靠性才是产品质量的重点。MEMS汽车传感器的可靠性问题非常复杂，涉及机械学、制造科学、微电子学、传感