EBSD技术基础.pdf

Oxford Instruments EBSD技术原理，应用及样品制备 焦汇胜 TESCAN China © Oxford Instruments 2009 The Business of Science® Oxford Instruments 内容 EBSD技术背景及工作原理 EBSD 的应用 EBSD 的样品制备要点 © Oxford Instruments 2009 The Business of Science® Oxford Instruments SEM及微区分析 © Oxford Instruments 2009 The Business of Science® Oxford Instruments FEI Nano 400 场发射扫描电镜及HKL EBSP系统Channel 5 © Oxford Instruments 2009 The Business of Science® Oxford Instruments EBSD 探头 © Oxford Instruments 2009 The Business of Science® Oxford Instruments 什么是EBSD技术？ Electron Back-Scattered Pattern Electron Back-Scattered Diffraction 电子背散射衍射技术简称EBSP或EBSD 其他的有：BKD，OIM…… 装配在SEM上使用，一种显微表征技术 通过自动标定背散射衍射花样，测定大块样品表面（通常 矩形区域内）的晶体微区取向 © Oxford Instruments 2009 The Business of Science® Oxford Instruments • 基于SEM的一种测量晶体取向的技术 • 微观组织的可视化和定量化 • 晶粒尺寸，分布，晶界表征，应变表征 • 物相鉴别 • 分布，尺寸，晶体结构 • 织构 © Oxford Instruments 2009 The Business of Science®