负温度系数的工业热敏电阻温度传感器测量误差的不确定度评定＊.pdfVIP

电 子 测 量 技 术 第 卷 第 期 传感器及 ３７ ８ 传感器及 传感器及 传感器及 传感器及 传感器及 传感器及 传感器及 传感器及 传感器及 传感器及 传传感感器器及及 　　 　 　 　 　 　 ＬＥＣＴＲＯＮＩＣ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ 年 月 Ｅ 非电量检测技术 　　 　 　 非电量检测技术 非电量检测技术 非电量检测技术 ０１４ ８ 非电量检测技术 ２ 非电量检测技术 非电量检测技术 非电量检测技术 非电量检测技术 非电量检测技术 非电量检测技术 　 非非电电量量检检测测技技术术 负温度系数的工业热敏电阻温度传感器 测量误差的不确定度评定＊ 崔 洋 彭 吉 于 淼 李佩玥 　 　 　 　 　 　 （ 学国 家重点实验室 长春 ） 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应 用光 １３００３３ 　 　 ： ， ， 摘 要 光刻系统内部温度等微环境参数的波动是影响成像质量的重要因素 影响光刻机最终的线宽 因此对光刻系 　 。 特 ， 统内温度传感器测量的不确定度有极高的要求 本文对负温度系数的热敏电阻及其ＲＴ 性进行简介 并针对工业 － ， 、 级热敏电阻温度传感器进行了不确定分析 分别计算了标准测温仪引入的不确定度分量 标准温度传感器引入的不确 ， 定度分量以及测量重复性引入的不确定度分量 分析得到使用的工业级热敏电阻温度传感器合成不确定度为 ．１７８ ２ ， ， 。 ｍ℃ 扩展不确定度为为 ４．３５６ｍ℃ 满足对光刻系统内高精度温度测量的指标要求 关 ： ； ； ； ； 键词 负温度系数 热敏电阻 不确定度 不确定度来源 温度传感器 中图分类号： 文献标识码： 国家标准学科分类代码：