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ESD EOS静电防护知识

ESD/EOS防護作為 ALi 品質部 林崇祐 ESD防護專案 一般生產線靜電防護措施實地稽核步驟 1.主要項目包括:地線到地樁迴路阻抗、導電地板量測、機台靜電值量測、人員/工作區靜電值量測、離子風扇/離子槍量測、靜電防護包裝量測及 評估。 2. 涵蓋所有主要靜電防護區(EPA):由進料區、生產製程、至測試/出料/包裝區等,及倉庫部份。請相關部門派員陪同。 3. 現場稽核完畢,即進行簡報。 4. 制作正式之書面稽核與改善建議報告書。 ESD/EOS防護方向 環境 人員-基本款 有線靜電腕環 無線靜電環 (較不建議) 備註: 有效接觸必需確認腕環套緊; 有線連接靜電地線接觸良好 一般採用1兆歐姆電阻手腕帶 防靜電手套 防靜電手指套 人員-進階款 靜電服 靜電鞋, 靜電鞋環 (搭配靜電地板或地墊) 備註:SMT或要求較高之靜電保護區域常用 人員-確認 靜電腕環, 靜電鞋-儀器確認 靜電鞋需雙腳皆進行測試 監控週期:至少每班一次 異常需停用並有記錄 機器-基本款 未帶電之金屬外殼接地 波焊焊料和傳遞系統必須接地 電腦/測試治具等金屬外殼 烙鐵頭 電鑽頭 (推薦防靜電低壓, 尤其是手焊接) 機器-確認 金屬外殼接地阻抗20Ω 烙鐵頭接地裝置: 接地電阻:2Ω以下,接地電勢:2mV以下 (自行接地線20Ω) 烙鐵頭對電源端為無限大, 對地趨近於零 烙鐵頭大部分可更換,若不做適切的保養,在與烙鐵本體接觸面會有氧化,所以產生接地不良 若註明”無需接地”,則表示已作雙重絕緣避免感電事故,則不需將電線由原來的2線更換為3線。 監控週期: 至少每班一次 異常需停用並有記錄 環境-基本款(I) 溫濕度 溫度: 23+/-3OC 濕度: 45~65%RH (JEDEC Min.40%RH) 區域標示 (貼在會碰觸到IC的工作區) 環境-基本款(II) 溫濕度控制 (1) 空調 (2) 加濕機 (3) 灑水, 濕拖把拖地 監控週期: 至少每班一次 異常需有記錄並確認改善措施 環境-基本款(III) 工作桌: 使用防靜電桌墊並有效接地 環境-進階款(I) 防靜電地墊/地板; 亦可用特殊處理過的水磨石地面,如事先敷設地線網、滲碳或在地面噴塗抗靜電劑等。 防靜電椅, 推車 離子風扇/槍 (至少每半年校驗) 環境-進階款(II) 廠房接地 ”必須深入“電氣地”,埋設接地地樁或接地網,地樁又可分為接地棒或接地銅板 (1)?一般,接地極應選用長3m,直徑19mm銅包鋼棒。 (2) 岩盤地區,可採用8條輻射狀接地銅網,導線標稱截面積38mm2以上,埋設深度0.76m以上。 (3)?接地極如使用兩支以上之銅包鋼棒時,其間之連接導線;一般,導線標稱截面積30mmsup2以上,並以熱熔接方法接續。 (4)?接地極頂部一般埋設深度應在地面下至少3.0m或地下水位以下。接地極如使用銅包鋼棒,其間隔應在2.0m以上。 (5)?一般,接地電阻須在10Ω以下。 (6)?電力、電信、資訊系統及防靜電接地等-獨立接地 降低接地電阻方式: 使用導電水泥, 灑鹽水(需定期補充水份)等. 環境-確認(I) 接地點接地阻抗 (1) 各工作站區域 (2) 20 ohm 監控週期: 至少每週一次 異常需有記錄並確認改善措施 環境-確認(II) 靜電壓值量測: 靜電場壓計 (1) 各工作站區域 (2) 1kV (12 inches) 監控週期: 至少每月一次 異常需有記錄並確認改善措施 材料-基本款(I) (I) 儲運包裝系列 泡棉: ESD等級/抗靜電 氣泡帶: 外防導電;內導電 導電瓦楞箱、隔板 SMT料架 材料-基本款(II) (II) 工作區系列 吸筆 (握柄以靜電防護的材質做成;終端吸頭是以靜電防護塑膠做成) 防靜電刷 防靜電膠帶(250V) 防靜電瓶 材料-基本款(III) (III)電性接點系列 首選-焊接 次要選擇-牢固之咬合, 鎖緊, 壓夾方式 材料-確認 表面阻抗計: 點對地與點對點電阻 (也可以量測室溫與相對濕度) 量測應用:地板、工作表面、工作服、工作鞋、包裝材、工作椅、原料、輔助生產器具…等 防靜電材料: 105~1011

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