湿度传感器及其测量电路.pptVIP

3.5 湿度传感器及其测量电路 湿度的测量与控制在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航天等部门及人们的舒适与健康方面至关重要。但是在常规的环境参数中，由于大气压强、温度等因素同时影响着湿度的高低，因而湿度的准确测量具有极大难度。使用常规的干湿球湿度计或毛发湿度计测量湿度时，测量误差在±5%～±20%之间，已经无法满足现代科技发展的需要，并且存在校准困难，即使如此也不能确保标定精度。近年来，国内外在湿度传感器研发领域取得了长足进步，湿度传感器正从简单的湿度元件向着集成化、智能化、多参数检测的方向迅速发展，为开发新一代湿度测控系统创造了非常有利的条件，也将湿度测量技术提高到了一个崭新的水平。 精密仪器、半导体集成电路与元器件制造场所，气象预报、医疗卫生、食品加工等行业都有广泛的应用 3.5.1 湿度传感器的类型及性能 1. 湿度测量的名词术语 湿度这一概念随被测物质的物理状态不同而有着不同的含义。对于气态物质，在测量其湿度时，常用绝对湿度、相对湿度和露点来表示；而对于固态物质，其湿度常用含湿量和湿度予以表示。 (1)气体的湿度 绝对湿度：指在一定温度和压力下，单位体积混合气体中所含的水蒸气量。用符号dv表示，单位为g/m3。 dv=m/V=217.6p/(Tab+273.16) 式中，p为水蒸气的压强，单位为帕斯卡(Pa)，Tab代表混合气体的温度，单位采用℃。 相对湿度：以某温度下饱和水蒸气量为基准，相对湿度是指绝对湿度占同一温度下饱和水蒸气量的百分数，用RH(Relative Humidity)表示。由于混合气体中水蒸气产生的分压强与其含量成正比，因此有 RH=p1(T)/ p2(T)×100% (3.28) 式中，p1(T)表示温度为T时混合气体中水蒸气的分压强，p2(T)表示在温度T下饱和水蒸气中水蒸气的分压强。显然，RH是压强和温度的函数。 露（霜）点 水的饱和蒸气压随温度的降低而逐渐下降。在同样的空气水蒸气压下，温度越低，则空气的水蒸气压与同温度下水的饱和蒸气压差值越小。当空气温度下降到某一温度时，空气中的水蒸气压与同温度下水的饱和水蒸气压相等。此时，空气中的水蒸气将向液相转化而凝结成露珠，相对湿度为100％RH。该温度，称为空气的露点温度，简称露点。如果这一温度低于0℃时，水蒸气将结霜，又称为霜点温度。两者统称为露点。空气中水蒸气压越小，露点越低，因而可用露点表示空气中的湿度。 露点：在一定温度下，气体所容纳的水蒸气含量超过某限量时，多余的水从气态变为液态的现象称为结露。随着温度的降低，含水量一定的不饱和气体将首先达到饱和状态；随着温度的再进一步下降，将引起结露，并且不饱和气体的含水量越少，结露所要求的温度越低，含水量越多，结露所要求的温度也越高。我们把在水气冷却过程中最初发生结露时的温度称为露点，其单位采用温度单位℃。露点可用来表示不饱和气体的含水量，因此也是在测量气体湿度时常用的一个名词。 (2)固体的湿度 含湿量μ：指物质中水分的含量M1与不含水分的干物质质量M0之比的百分数。 μ= M1/ M0=(M- M0)/ M0×100% (3.29) 式中M为含水物质的质量，M0为相应的干物质质量，M1为含水物质中所含水分质量。 湿度F：固态物质的湿度F定义为 F= M1/M=(M- M0)/ M×100% (3.30) 式中符号的含义同上。 2. 湿敏元件 湿度传感器依据使用材料分类 电解质型：以氯化锂为例，它在绝缘基板上制作一对电极，涂上氯化锂盐胶膜。氯化锂极易潮解，并产生离子导电，随湿度升高而电阻减小。 陶瓷型：一般以金属氧化物为原料，通过陶瓷工艺，制成一种多孔陶瓷。利用多孔陶瓷的阻值对空气中水蒸气的敏感特性而制成。 高分子型：先在玻璃等绝缘基板上蒸发梳状电极,通过浸渍或涂覆,使其在基板上附着一层有机高分子感湿膜。有机高分子的材料种类也很多,工作原理也各不相同。 单晶半导体型：所用材料主要是硅单晶，利用半导体工艺制成。制成二极管湿敏器件和MOSFET湿度敏感器件等。其特点是易于和半导体电路集成在一起。 湿敏元件是最简单的湿度传感器，主要有电阻式和电容式两大类。 (1) 湿敏电阻 湿敏电阻是覆盖在基片上的一层感湿材料膜，当空气中的水蒸气吸附于感湿膜上时，将引起其电阻率和电阻值变化，利用这一特性可以对湿度进行测量。湿敏电阻主要有金属氧化物湿敏电阻、硅湿敏电阻、陶瓷湿敏电阻等种类，如国产SM—1型硅湿敏电阻，其相对湿度的测量范围为1%～100%，测量精度达±4%。灵敏度高是湿敏电阻的主要优点，但存在较严重的非