薄膜材料的表征课件.pptVIP

五、卢瑟福背散射技术（RBS） 具有较高能量而质量较小的离子在与物质碰撞的过程中会发生散射现象，这 一相应的过程被称为卢瑟福散射。利用这一物理现象作为探测、分析薄膜材料的 化学成分的分布的方法，被称为卢瑟福背散射技术。 如图(a)所示，由于离子能量很高而质量又很小，因而它将具有一定的对物质的穿 透能力，并且不会造成物质本身的溅射。在穿透物质的同时，高能离子与物质间 的相互作用可以被分为不同的两种情况： （1）高能离子在远离原子核的地方通过，并以不断激发原子周围的电子的方式 消耗自身的能量。 （2）当离子的运动轨迹接近了物质的原子核时，它与后者之间将发生经典的弹 性碰撞过程。 下图是卢瑟福背散射分析所使用的装置的示意图。 返回 Solid State Laboratory Department of Electronic Engineering, CUHK 2MV Tandem Accelerator 2MV Tandem Accelerator Solid State Laboratory Department of Electronic Engineering, CUHK Analyser magnet Ion Sources Accelerator tube Electrostatic quadruple triple lens Ext