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表面等离子体技术的基础及应用 物理与光电工程学院 2012-12-01 表面等离子体波-两层结构 假设金属的相对介电常数为无损耗时的Drude模型 两种无损耗媒介的分界面上的边界条件 麦克斯韦方程组 时谐的麦克斯韦方程微分形式 TM模式 TE模式 微分算子 x z = 0 TE 偏振 x z = 0 TM 偏振 辐射模（可以被直接激发） 禁带（纯虚部） 束缚模-表面波 在z方向的衰减深度 在x方向的传播长度 亚波长约束 从而可以利用表面等离子体，在光频率还在 可见波段时，获得波长达到x射线的数量级甚至 更小。 可以到达102～103数量级，从而理论上由于 衍射所决定的光学分辨率lambda/(2neff)将会 小至纳米尺度。 应用：微纳光集成，高密度光存储，超分辨成像，亚波长光刻等 长波长 短波长 表面等离子体波的激发 浅光栅 大于全反射角，产生沿界面传输的倏势波， 通过隧穿效应， 激发表面波 表面等离子体波-三层结构 TM 偏振 Ex是奇函数 Hy, Ez是偶函数 Ex是偶函数 Hy, Ez是奇函数 奇/偶函数的导数为偶/奇函数 IMI (insulator-metal-insulator) 金属条，金属带，金属线等 dashed gray line: metal core 100 nm black gray line: metal core 50 nm 16 nm