摩擦电化学与摩擦电化学研磨抛光研究进展-摩擦学学报.PDF

第 26 卷　第 1 期 摩 擦 学 学 报 26, 　 1 V o l N o 2006 年 1 月 TR IBOL O GY J an , 2006 摩擦电化学与摩擦电化学研磨 抛光研究进展 翟文杰 ( 哈尔滨工业大学 机电工程学院, 黑龙江 哈尔滨　15000 1) 摘要: 评述了水基介质和非水基介质中摩擦电化学的研究现状和进展, 总结了摩擦电化学控制机理, 进而在总结分析 硬脆材料研抛机理的基础上提出摩擦电化学研抛原理, 指出摩擦电化学研抛可望成为微电子基材高效研抛与平坦化 的关键技术. 关键词: 摩擦电化学; 腐蚀磨损; 摩擦控制; 摩擦电化学研抛 中图分类号: TH 117. 2; T G 115. 5 文献标识码: A 文章编号: (2006) 0 1009205 　　摩擦电化学是涉及材料学、电磁学、力学、热力学 硬度从而影响摩擦磨损性能, 或将摩擦系数随电极电 及表面物理化学和表面工程学等多学科知识高度交 势变化归因于双电层作用和一定电势范围下气体的 叉的综合边缘学科. 作为摩擦学的新兴分支学科, “摩 产生. 目前普遍认为[ 11 ] , 电势对边界摩擦性能的影响 擦电化学”应用电化学理论和技术研究摩擦系统中固 可归结为如下几方面的作用: 通过双电层产生的静电 体表面发生的各种物理和化学的变化, 如界面吸附过 斥力来减小摩擦接触面接触压力, 从而减小实测摩擦 [ 1 ] ( ) 程和表面修饰膜的形成过程 以及腐蚀磨损过程中 系数; 通过双电层 或外加 电场促使极性分子在摩擦 [2 ] ( ) 表面膜的行为以及腐蚀磨损控制 , 并通过研究电极 表面的吸附 或解吸 而影响摩擦; 通过外加电场控制 表面摩擦状况的改变与电极电位的关系, 揭示外加电 电极反应形成的边界反应膜来改变摩擦磨损特性. 但 势对系统摩擦学性能的影响机理. 目前, 水基介质下 是, 多种影响机制的综合作用、运动过程中摩擦状态 摩擦电化学研究已日臻成熟, 人们开始着重于非水基 的改变以及摩擦表面物理化学性质变化的非可逆性, [3 ] 介质摩擦电化学 和对边界润滑下摩擦和磨损的电 均使摩擦电化学系统的主动控制变得复杂难行. [4 ] 化学控制 及其应用等方面的研究.