AE中频电源1.doc

第 章 PE II 10 kW中频电源 PE II 10 kW 电源是美国AE公司生产的中频电源，它主要作为磁控溅射的电源，其结构、原理和使用说明如下。 第一节 工作原理 概述 1、总线/辅助 2、母板 3、测量/匹配 4、变极器( 5、逻辑板 6、显示 概述：图1－1以及以下段落详细描述了PEII的工作原理。 图1-1系统结构模块图 1、总线/辅助 这个模块包含了线性滤波器，断路器，桥式整流器，吸震器，和辅助电源。辅助电源提供了非恒定的＋24V，恒定＋15V，恒定－15V及＋5V。这些电源输出通过母板分配给其他的模块电路使用。 2、母板 母板提供每个模块的电路连接。包括总线/辅助模块输出的电源和逻辑板（5）与测量/匹（3），变极器（4）和显示（6）之间的通讯。 3、测量/匹配 此模块的匹配部分包含了继电器用来控制开关Tap来匹配负载的输入要求。测量部分用来测量输出的功率，电压和电流。测量是通过母板和系统内部其他模块所提供的。 4、变极器 变极器包含了驱动电路，主开关板以及滤波器和输出变压器。变压器有多种Tap设置可以选择。 5、逻辑板 逻辑板通过用户口I/O端口和CEX/DRIVE输入输出口进行通讯的。 6、显示 显示模块通过6个LED灯来显示电源的状态信息。 第二节、产品规格 1、功能规格 2、物理规格 3、电气规格 4、Tap操作信息 5、环境要求 6、水冷规格 1、功能规格 以下表格列举了PEII10KW电源的各部件的功能规格 表 2-1-1. 功能规格 控制信号源 这个单元是由模拟/数字的用户口控制的 恒定输出模式 这个单元可以设定恒定负载功率，电压或电流输出模式。 自动工艺维持 当使用主机/副机捆绑输出20KW或以上的功率时，组合设置将自动调节副机上的损失。当某个副机关闭时，主机将重新分配输出电压以及改变最大输出功率的限制来补偿那些关闭状态的副机。电源会断开100ms然使用新的配置重新启动剩下的电源。 水冷及环境温度PEII 10KW电源设计要求冷却水进水温度在5至30度之间，环境温度不高于40度，才电能源正常稳定地工作。 表 2-1-2. 功能规格（续） 保护 PEII 10KW经过专业设计保护装置以保护电源本身在以下情况下不至于受到损坏： ? 输出端负载任何不匹配地条件下，根据保护回路的要求，输出功率折回。 ? 环境温度过高，超出规定的温度范围，将直接导致电源内部温度高于预先的设定范围。 ? 冷却水流量过低以及/或者冷却水温度过高，将导致电源内部温度超出预先的设定范围。 ? AC电源输入电压过高或过低。 连锁装置 PEII 10KW电源提供一个25pin，D类型的接头的信号串连回路连锁装置。 备注：连锁装置使用2个引脚。其中一个引脚的电流输出必需回到另一个引脚上，并且回路必需与地保持绝缘 （参考表4－1） 备注：如果PEII 10KW电源安装在机柜内，机柜温度不要超过最大环境温度。 2、物理规格 下表列举了PEII 10KW的物理规格: 表 2-2-1 物理规格 尺寸 177 mm H x 482 mm W x 635 mm D (7 in H x 19 in W x25 in D) 重量 40.8 Kg (90 lbs) 安装方式 电源被设计适合安装在19英寸的机架上 表 2-2-2 物理规格（续） 接头/电缆 RF输出接头 双输出，从接线盒引出并带有保护盖 RF 输出电缆 本设备不附送输出电缆。保护盖板可以容纳标准的屏蔽线。可以安装0.35英寸（9mm）到0.71英寸（18mm）的电缆。锁紧电缆屏蔽外的松紧套以保证EMI屏蔽效果。捆绑使用时，电源之间电缆长度最大相差不超过15米（50英尺）。参考 “连接输出电缆”。 RF 电压监测 BNC 母 RF 电流监测 BNC 母 AC 电源输入 现场连线安装，4－线DIN接头 AC 线缆 此设备不附送输入电缆。输入线要求4－触点，6AWG，屏蔽，带有金属套箍的接头。 用户口连接器 25－pin D型， 母接头 输入 CEX/Drive连接器 50-pin, SCSI 2, 母接头 输出 CEX/Drive连接器 50-pin, SCSI 2, 母接头,带有弹簧夹 CEX/Drive 电缆 A0.9米（3英尺）电缆随机附送。一头为50－pin，SCSI 2, 带有弹簧夹的公接头，另一头则带有2－56螺丝的接头。电缆带有屏蔽且阻抗特性为100欧姆。 捆绑连接时，两电源间最大距离为12.5米。而且两台CEX－捆绑单元间最大距离也是15.2米。CEX－捆绑电源可以独立单元输出，也可以作为捆绑电源组合输出使用。 CEX/Drive终端插头 50-pin, S