基于非硅衬底微机电系统惯性开关研制.pdfVIP

学兔兔 第 45卷第 3期 机 械 工 程 学 报 VO1．45 NO．3 2009年 3月 JOURNAL0FMECHANICALENGINEERING Mar． 2009 DoI：10．3901／JM E．2009．03．156 基于非硅衬底的微机 电系统惯性开关的研制水 蔡豪刚 杨卓青 丁桂甫 刘 瑞 f上海交通大学微纳科学技术研究院 上海 200240) 摘要：以非硅表面微加工技术为基础，在玻璃衬底上设计和制造一种简单可靠并有反向冲击保护的单向一次触发微机电系统 (Microelectro．mechanicalsystem，MEMS)惯性电学开关。该设计采用连体蛇形弹簧将可动电极(质量块)悬空固定，用挡块作 为反向冲击保护，其敏感方向为平行于衬底面的水平方向，整个器件使用成本较低而又方便的叠层电镀镍工艺制作。通过对 弹簧一质量块系统运动过程的理论分析和有限元仿真，研究器件阈值加速度与其质量块厚度的关系，并用落锤试验对封装器 件的阈值加速度以及峰值为 1O (g一9．8m／s)半正弦冲击下的响应进行了测试，得到该微开关的阈值加速度分布在 58g～72g， 基本符合预期设计的60g阈值加速度要求，响应时间约为 10-4S量级，与有限元仿真结果吻合较好。 关键词：惯性开关 微机电系统 非硅表面微加工 阈值加速度 仿真 中图分类号：TH703 DevelopmentofaM EM SElectricalInertiaM icro-switchBasedon Non．siliconSubstrate CAIHaogang YANGZhuoqing DINGGuifu LIURui (ResearchInstituteofMicroN／anometerScienceandTechnology,ShanghaiJiaoTongUniversity, Shanghai200240) Abstract：Basedonnon-siliconsur~cemieromachiningtechnology,asimplebutreliablemicroelectro-mechanicalsystem (MEMS) electricalinertiamicro—switchwithsinglesensitivedirection andreverseimpactprotection isdesignedand fabricated onglass substrate．Inthisdesign，conjoinedserpentinespringsareusedtofixandsuspendthemobileelecrtode(mass)andblocksareusedto protectthedeviceagainstreverseimpulse．Theswitchislaterallydriven(i．e．itssensitivedirectionisparalleltothesubstrate)． Fabrication iscarriedoutbylow-c·ostandconvenientmulti-·layerelectroplatingtechnology．Therelationshipbetweenthreshold accelerationandmassthicknesshasbeeninvestigatedbytheoreticalanalysisandfiniteelementanalysis(FEA)simulation．After fabrication andpackaging，micro-switchesraetest