MEMS并行测试系统MEMSparallelmeasurementsystem.pdfVIP

MEMS parallel measurement  system solution 微机电微机电(MEMS)(MEMS)并行测试系统解决并行测试系统解决 方案 MEMS 测试系统 MEMS Test system •• 微机电微机电(MEMS)(MEMS)测试系统包含的重要仪器测试系统包含的重要仪器，能够对能够对MEMSMEMS加速计加速计 和陀螺仪进行完整的特征记述。系统中，源测量单元(SMU)可实 现常用DC参数测量（开路/短路、泄漏测试），高精度数据采集 模块可在广阔的动态范围内实现精确的声音与振动测量模块可在广阔的动态范围内实现精确的声音与振动测量，高速高速 数字I/O可借由常用通信协议（SPI、I2C、JTAG ）连接MEMS设备， 开关模块能够将DC仪器路由至多个测试点。 •• CharacterizeCharacterize MEMSMEMS AccelerometersAccelerometers andand GyroscopesGyroscopes. • The MEMS Parallel Test System