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碳纳米管场发射器件放气特性分析及其对场发射性能的影响
第４０卷第 １期 南京师大学报(自然科学版) Ｖｏｌ４０ Ｎｏ１
２０１７年３月 ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＮＡＮＪＩＮＧ ＮＯＲＭＡＬ ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ(Ｎａｔｕｒａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｅｄｉｔｉｏｎ) Ｍａｒꎬ２０１７
－
ｄｏｉ:１０.３９６９/ ｊ.ｉｓｓｎ.１００１ ４６１６.２０１７.０１.０２２
碳纳米管场发射器件放气特性分析
及其对场发射性能的影响
１ ２ ３ １
崔云康 ꎬ狄云松 ꎬ陈 静 ꎬ唐春红
(１.南京工程学院数理部ꎬ江苏 南京 ２１１１６７)
(２.南京师范大学物理科学与技术学院ꎬ江苏 南京 ２１００２３)
(３.东南大学电子科学与工程学院ꎬ江苏 南京 ２１００９６)
[摘要] 为了研究场发射冷阴极电流跌落机制ꎬ采用四极质谱仪实时分析的方法研究了碳纳米管阴极场发射
器件的放气特性及工作状态下器件内残余气体对阴极场发射性能的影响. 结果表明:碳纳米管阴极场发射器件
工作时ꎬ放出气体的主要成份是Ｈ ꎬＣＯ ꎬＣＯꎻ随着阴极发射电流密度的增加ꎬ气体成份的分压也随着增加. 碳纳
２ ２
米管阴极的场发射性能ꎬ例如开启场强、阈值场强和场发射电流密度都与放出气体压强密切相关. 碳纳米管阴极
－３
×
在压强为２.１ １０ Ｐａ 的残余气体环境下工作１.５ｈ后ꎬ开启场强和阈值场强相应增加了２９.４％和５０.０％. 阴极受
残余气体影响ꎬ一方面阴极发射材料表面功函数增加ꎻ另一方面阴极发射体场增强因子减小. 增大的功函数和减
小的场增强因子降低了阴极的场发射性能. 因此ꎬ场发射器件放气是阴极电流跌落的重要原因.
[关键词] 碳纳米管ꎬ放气特性ꎬ场发射
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[中图分类号]Ｏ４６２.４ [文献标志码]Ａ [文章编号]１００１ ４６１６(２０１７)０１ ０１５１ ０６
Ｏｕｔｇａｓｓｉｎｇ Ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ ｔｈｅ ＣＮＴｓ Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ
ａｎｄ Ｉｔｓ Ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｎ Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ
１ ２ ３ １
ＣｕｉＹｕｎｋａｎｇ ꎬＤｉＹｕｎｓｏｎｇ ꎬＣｈｅｎＪｉｎｇ ꎬＴａｎｇ Ｃｈｕｎｈｏｎｇ
(１.Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｍａｔｈｅｍａｔｉｃｓ ａｎｄ ＰｈｙｓｉｃｓꎬＮａｎｊｉｎｇ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙꎬＮａｎｊｉｎｇ２１１１６７ꎬＣｈｉｎａ)
(２.Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｐｈｙｓｉｃｓ ａｎｄ ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙꎬＮａｎｊｉｎｇ Ｎｏｒｍａｌ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＮａｎｊｉｎｇ２１００２３ꎬＣｈｉｎａ)
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