激光清洗_富有前途的环保型清洗方法_宋峰.pdf

第20卷 第 5期 清 洗 世 界 Vol.20 No.5 2004年5月 Cleaning World May.2004 ¥ 新技术、新工艺¥ 激光清洗 ——富有前途的环保型清洗方法 宋 峰 刘淑静 颜博霞 （南开大学物理学院光子学中心，天津 300071） 摘 要 激光清洗是一种新的清洗方法，它利用激光的方向性和高亮度，通过光剥离、光 分解等原理清除材料表面的污染物，具有简单方便无二次污染等独特优点。简述了激光清 洗的原理及激光清洗表面微粒的方法，介绍了激光清洗在微电子器件清洗、除锈脱漆、文 物和城墙清洗等几方面的应用。 关键词 激光清洗 激光应用 表面污染 中图分类号 TH744.5文献标识码 B Laser cleaning SON G Feng, LI U Shuj ing YAN Boxia (Photonics Centre College of Physics sciences,Nankai University,Tianjin 30007 1) AbstractLaser cleaning is a novel cleaning method. The contaminants on the surface of materials can be cleaned with a laser for its directionality and high brightness. The principles for laser cleaning are thought to owe to the optic-ej ection, laser-explosion and other reasons. The principles of laser cleaning are presented and some techniques about laser cleaning the surface particle are introduced. Some applications of laser cleaning on micro-electronic devices,rust or paint removed, historic relics and land marks are summarized. Key wordslaser clean ing; laser application ; surface contamination 在生活和生产中，污染无处不在，清除污染也就 又如超声波清洗法中常用的CFC（碳氟化合物）能够 成了非常重要的事情。一般来说，清洗就是通过溶解、 破坏臭氧层，危害人体健康。 化学反应或施加机械力等手段来清除物体表面上的污 有些产品无法使用机械摩擦法，化学清洗法或水 染物，使用的方法有水冲洗、高压喷射清洗、真空中 射流法，例如某些可能溶于水的材料（如石膏等）、容 [1~5] 热清洗、等离子体清洗、离子清洗等 。这些方法中， 易被化学试剂损伤的材料（如文物雕塑）、难以用液体 有一些在工业和生活应用中成本较高，使用不方便; 清洗的材料（如某些半导体器件）、水和化学试剂难以 大部分方法则离不开水和化学溶剂。化学去污剂会对