气相沉积法的薄膜制备研究.pdf

第 24 卷第 2 期 上 　海 　工 　程 　技 　术 　大 　学 　学 　报 Vol . 24 No . 2 20 10 年 6 月 J OU RN AL O F SHAN GHA I UN IV ER SI T Y O F EN GIN EER IN G SCIEN CE J un . 20 10 ( ) 　　文章编号 : 1009 - 444X 20 10 02 - 0 167 - 06 气相沉积法的薄膜制备研究 陈　晖 , 周细应 , 言 　智 (上海工程技术大学 材料工程学院 , 上海 20 1600) 摘要 : 对薄膜的应用现状 、气相沉积法制备薄膜的常规方法及高能精密薄膜制备方法作了综述. 认为开发薄膜复合处理工艺 ,实现制膜过程精密控制 , 以及节能环保的绿色镀膜将会成为薄膜制 备新的趋势. 关键词 : 薄膜 ; 气相沉积法 ; 绿色镀膜 中图分类号 : TB 43 　　文献标志码 : A Revie w of Thin Fil ms Preparation Methods by Thermal Vapor Condensation C H EN Hui , ZHOU Xiyin g , YAN Zhi ( College of Mat erial s Engineering , Shanghai U niver sit y of Engineering Science , Shanghai 20 1600 , China) Abstract : The app lication st at u s of t hin film s ,conventio nal met ho ds of t hin film s p rep aration by t her mal vapor conden sation and ot her high p reci so n p rep aration met ho d s were reviewed . It i s p re sent ed t hat t he develop ment of t hin film s co mpo sit e p roce ssing ,t he p reci se cont rol of p rep aration p roce ssing a s well a s en ger gysaving and environmentp rot ecting filmp latin g met ho ds will be t he new t rend of t hin film s p rep aration . Key words : t hin film ; t her mal vapor conden sation ; green coating 　　气相沉积制备薄膜技术是近 30 年来迅速发展 能膜等 ,在促进电子电路小型化 、功能高度集成化 的一门新技术 ,是当代真空技术和材料科学中最活 方面 发挥 着 关键 作 用 , 具有 十 分广 阔 的应 用 跃的研究领域. 它利用气相在各种材料或制品表面 前景[ 1 ] . 沉积薄膜 ,从而使材料或制品获得所需的各种优异 性能. 气相沉积法不仅可以制备金属膜 、合金膜 ,还 1 　薄膜的应用现状 可以制备各种化合物 、非金属 、半导体 、陶瓷 、塑料 薄膜等. 所制备的薄膜大量应用于电子器件和大规 薄