第二篇 第七章 电子显微分析.ppt

第二篇 电子显微分析术 2.1 电子显微镜中的电子光学问题 2.2 透射电子显微镜的结构 2.3 电子衍射 2.4 金属薄膜成像 2.5 复型 2.6 扫描电子显微分析 2.1 电子显微镜中的电子光学问题 2.1.1光学显微镜的局限性 分辨本领: 指光学仪器所能区分的两相邻物点之间最小距离 ?r。越小，表示能分清物体的细节越细，分辨本领越好。  2.1.1光学显微镜的局限性 可见光的波长在3900~7600埃，则其极限分辩率为2000埃 半波长是光学玻璃透镜分辨本领的理论极限 2.1.2 电子性质 高速运动的电子所具有的动能: eU = 1/2mv2 电子波是物质波的一种: 其中h=6.62×10-34焦耳·秒 e=1.60×10-19库仑 m0=9.11×10-31千克(电子的静止质量) 2.1.2 电子性质 电子的波长： 注 意 光波波长4000~8000?. 电子波长是光波长的10万分之一 由 得: 电子显微镜的理论分辨率 ~0.02?， 电子显微镜的实际分辨率 ~2?（1.0-2.0?） 原因: 电子透镜不完善，有像差（球差、色差、像散） 电子透镜孔径角之半?~ 0.01弧度（ sin ? ~ 10-2） 2.1.3电子透镜的象差 电磁透镜的像差： 球差 象散 色差 球差 球差即球面像差，是磁透镜中心区和边沿区对电子的折射能力不同引起的 球差 球差最小散焦斑的半径在原物面上的折算值如下： ????? ?? —球差系数，通常相当于焦距1~3mm —电磁透镜的孔径半角 ? 若两点距离 时，不能分辨 通常物镜 的值相当于它的焦距大小，对大多数TEM ～ 3mm；高分辨电镜(HREM) 1mm。因为 。若用小孔光栏挡住外围射线，可以使球差迅速下降。但也使分辨率降低，因此，必须找出两者合成效应的最小?的值。现代物镜可获得 ~0.3mm， ? ~10-3弧度，对应的分辨率为～2?。 像 散 由于电磁透镜的周向磁场非旋转对称 像 散 造成像散的原因： ? 极靴的机械不对称 ? 极靴内部被污染 ? 极靴材料内部结构和成份不均匀 像散对分辨率的限制往往超过球差和衍射差，但像散可矫正（引入一个强度和方位可调的矫正场，称为消像散器） 色差 色差是由于成像电子波长（或能量）变化引起透镜焦距变化而引起的 色差 色差的产生 色 差 稳定加速电压和透镜电流可减小色差 景深 和焦长 景深：指当像平面固定时（象距不变），能维持物像清晰的范围内，允许物平面（样品）沿透镜主轴移动的最大距离Df 景深Df 取 Δr0=1 nm,?～10-3rad 则? Df = 200～200nm 试样（薄膜）一般厚200～300nm，上述景深范围可保证样品整个厚度范围内各个结构细节都清晰可见 焦长 2.1.4成像透镜及性质 电子在磁场中的运动特征： 光学玻璃透镜 对于光学玻璃透镜，平行光穿过透镜后发生折射就会聚焦在透镜的焦点上 电磁透镜 电磁透镜实质是一个通电的短线圈，它能造成一种轴对称的不均匀分布磁场 在轴对称的磁场中，电子在磁场内作螺旋近轴运动 习? 题 电子波有何特征?与可见光有何异同? 分析电磁透镜对电子波的聚焦原理，说明电磁透镜的结构对聚焦能力的影响。 电磁透镜的像差是怎样产生的?如何消除和减少像差? 说明影响光学显微镜和电磁透镜分辨率的关键因素是什么?如何提高电磁透镜的分辨率？ 电磁透镜景深和焦长主要受哪些因素影响?说明电磁透镜的景深大、焦长长，是什么因素影响的结果？假设电磁透镜没有像差，也没有衍射埃利斑，即分辨率极高，此时它的景深和焦长如何? 2.2 透射电子显微镜的结构 2.2.1电镜的主要结构和工作原理 2.2.2 电镜的照明系统 （1）电子枪 （2）聚光镜 （3）垂直照明和倾斜照明 22.3 成像系统 （1）物镜、中间镜和投影镜 （2）聚光镜光阑、物镜光阑、选区光阑 （3）中放大倍数成像和低放大倍数成像 2.2.4 图象观察和记录系统 （1）荧光屏 （2）照相装置 2.2.5 样品台 2.2.6 真空和供电系统 TEM简介：Transmission Electron Microscope 透射电子显微镜（简称透射电镜，TEM），可以以几种不同的形式出现，如： 高分辨电镜（HRTEM） 透射扫描电镜（STEM） 分析型电镜（AEM）等等。 入射电子束（照明束）也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射