外延PbZr0.4Ti0.6O3薄膜厚度对其铁电性能的影响.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 D% D $!! D ， ， ， X0K D% I0 D L(T $!! （ ） #!!!,8$!Q$!!QD% !D Q$8#,!% JN6J 9UV5WNJ 5WIWNJ !$!! N23) 92T1 50Y 外延!#$% ’ ()% * +, 薄膜厚度 对其铁电性能的影响! 王英龙 魏同茹 刘保亭 邓泽超 （河北大学物理科学与技术学院，保定 !#!!$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $!!% $!!% #! 从’()*(+,-./0)1234. 唯象理论出发，考虑到晶格失配导致的 位错应力场与极化场的耦合，研究了在54637 衬底 8 上外延生长的 薄膜厚度对其自发极化强度、电滞回线的影响 结果表明，产生 位错的 薄 9:;4 63 7 9:;4 63 7 ! = ! % 8 ! = ! % 8 膜临界厚度为? #$ )@，当薄膜厚度大于临界厚度时，在所形成的位错附近，极化强度出现急剧变化，形成自发极 化强度明显减弱的“死层”；随着薄膜厚度的减小，位错间距增大，“死层”厚度与薄膜总厚度之比增加 由薄膜电滞 回线的变化情况可知，其剩余极化强度随着薄膜厚度的减小而逐渐减小 关键词：铁电薄膜，自发极化强度，电滞回线，位错 ： ， ， ， !-.. A! %=!B %A%! A!C ［ ］ 起的失配位错所施加的压应力场有关## 显然，从 # 引 言 理论上研究失配位错对薄膜铁电性能的影响，将对