L10结构FePt复合薄膜的微观结构和磁性质.pdfVIP

L10 结构FePt 复合薄膜的微观结构和磁性质 1 1 1 1 1 2 米文博 李志青 吴 萍 姜恩永 白海力 侯登录 李秀玲2 （1 天津大学理学院现代材料物理研究所，天津 300072 ； 天津市低维功能材料与制备技术重点实验室，天津 300072 ； 2 河北师范大学物理与信息技术学院，石家庄 050016 ） 摘 要：采用对向靶磁控溅射法制备了FePt -C 系列复合薄膜，并对样品进行了退火处理。研究了样品中C 含量、Pt 含量和薄膜厚度对样品磁性质的影响。结构分析表明制备态样品均由~2-3 nm 的非晶金属颗粒镶嵌在非晶态C 母体 中；退火后，样品中颗粒结晶为有序的L10 结构，并且尺寸长大，并且颗粒周围的非晶态C 石墨化。研究表明在退 火样品中，随着C 含量的增加，样品中颗粒间的相互作用增强；当样品中Pt 与Fe 的原子比较接近 1 时，样品的矫 顽力最大。对于(FePt)53C47 样品，薄膜厚度为80 nm 时，样品的矫顽力最大。 1 引 言 2 颗粒薄膜是实现超高密度磁信息存储的候选材料，记录密度有望达到 10–100 Gb/in 。在如此高 的面记录密度下，目前存在的关键问题是如何提高材料的矫顽力、降低颗粒尺寸、减弱颗粒间相互 作用和提高热稳定性。最近，无论在基础研究方面还是在应用研究方面，具有高磁晶各向异性常数 7 3 [1-7] （~7×10 erg/cm ）的面心四方（fct ）结构的FePt 合金成为人们的研究热点 。一般地，用溅射法 制备的FePt 薄膜具有无序的面心立方（fcc ）结构，要得到fct 相，需要对薄膜进行高温热处理。对 于纯 FePt 连续薄膜，热处理温度一般在 500℃ 以上，而对于 FePt 颗粒薄膜，热处理温度要高于 650℃。这样高的热处理温度很难满足工业生产的需求，因此如何降低热处理温度以及阐明其物理机 制是当前迫切需要解决的问题。另外，如何降低颗粒尺寸和减弱颗粒间的相互作用也是制约其在超 高密度磁记录材料方面应用的障碍。本文采用对向靶磁控溅射法制备了FePt-C 颗粒薄膜，并对其进 行退火处理，详细地研究了样品的成份、结构和磁性质。 2 实 验 采用双对向靶直流磁控溅射法制备了 FePt-C 颗粒膜。背底真空度为 1.5×10－4 Pa ，溅射气体为 Ar 气，溅射气压为0.5 Pa ，溅射功率为190 W。采用单晶硅片作为基底，基底温度为室温，并将样 品在真空中650℃退火。采用X 射线光电子能谱(XPS)分析了薄膜的成分，采用X 射线衍射和透射电 子显微镜(TEM)分析了样品的微观结构。采用振动样品磁强计(VSM) 、超导量子干涉仪(MPMS)和磁 力显微镜(MFM)分析了样品的磁性和磁畴结构。 3 结果与讨论 为了分析样品中各成份的原子百分含量和化学价态，我们对制备态样品进行了XPS 测量。图 1 给出了Fe2p 、Pt2p 和C1s 的XPS 谱。从图中可以看出，制备态样品中的C1s 峰所对应的束缚能为285.4 3 2 eV，来自于sp C ，退火样品中位于284.6 eV 的峰来自于sp C ，说明退火促进了样品中非晶态C 的 69 石墨化；Fe2p 的束缚能为707.6 eV，对应于单质金属态Fe ；束缚能位于72.0 eV 的Pt4f 也来自于金属 态的Pt 。由此可见，在样品中C、Fe 、Pt 元素均以单质形式存在，同Fe-C 和Co-C 系统一样，制备