压电微流体泵液-固耦合系统流动特性 Flow behavior of liquid-solid coupled system of piezoelectric micro-pump.pdfVIP

压电微流体泵液-固耦合系统流动特性 Flow behavior of liquid-solid coupled system of piezoelectric micro-pump.pdf

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压电微流体泵液-固耦合系统流动特性 Flow behavior of liquid-solid coupled system of piezoelectric micro-pump

辑第 卷第 期 水 动 力 学 研 究 与 进 展 ! ! ! # $ %’(! )*+(#,*($ !!!!!! !!!!!! ! ! 年 月 0123,!4156783187,!9:;% ! --. / 0+ --. !! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! = 文章编号! # #$?/$ --.-$-@#-/ 压电微流体泵液 固耦合 系统流动特性 鲁立君! 吴健康 !! 华中科技大学力学系武汉光电国家实验室!湖北武汉 # $A--/$ 摘 要! 该文采用厚度积分平均的浅水模型和有限元法!得到压电微流体泵液体 硅振动片动力耦合振动方程$液 B B ! ! 固耦合系统的模态分析给出硅片一阶模态自然频率和振型!以及硅片振幅 频率关系曲线$在模态分析基础上!加入压电效 B 应!计算压电 硅片在外加电场作用下的振动响应$文中采用有限体积法计算微流体泵周期流动!得到微泵流量 频率的特征 B 曲线!以及泵腔周期流动规特征$数值结果表明!在给定外加电压时!可以确定一个使微泵流量最大的工作频率$ 关 键 词! 微流体泵%液 固耦合系统%浅水模型 ! ! ! 中图分类号! 文献标识码! 1A.#($ ! ! ! ! ! !#$ %’()*#+#,*.*/01#*/2#. /1156 #, - 3 4 *7#25+*26*2+#0.6 3 3 3 $ 42 4CE F2 0CGEHGE D !! I $ $ FJGE,GKC*EG+4GL*’GK*’ M*’1 K*+OK’*ECOP9OJGECOP8G’KQEK

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