触摸屏蚀刻生产工艺.docVIP

一、生产设备的设定 生产设备 蚀刻及除油墨设备生产线分酸蚀、碱蚀、水洗、超声波清洗、风刀、烘干六段。酸蚀、碱蚀段带水洗部分。各段喷头要畅通, 不能有堵塞现象。此设备可用于蚀刻ITO Glass或ITO Film。 欣裕达(新)蚀刻线酸蚀段只有一槽酸，其酸浓度为18%~26%[调机值23、24]，专门用于ITO Film的蚀刻。 科宇达（旧）蚀刻线酸蚀段有两槽：第一槽酸浓度为18%~26%[调机值23、24]，第二槽的酸浓度为18%~26%[调机值23、24]。专门用于ITO Glass的蚀刻，且须同时使用两槽酸液。 机器参数的设定 (1)膜－酸蚀刻参数表 ITO Film 材料类别 材料编码 材料方阻 Ω/□ 酸液浓度 HCL 设置温度 ℃ 设置速度 m/min 酸喷淋压力 水喷淋压力 P上 kg/c㎡ P下 kg/c㎡ P上 kg/c㎡ P下 kg/c㎡ 膜 ALL 350~500 18%-26% 30～45 1.8-2.5 1.0-1.5 0 0.8-1.3 0.5 注：a.以上Film材料为我司现常用物料，生产过程中如遇新物料蚀刻参数可咨询工程部； b.酸液蚀刻Film材料时设置的温度、速度、需根据酸液的浓度及材料导电层附着力的强弱而调节。以能完全刻断、不短路为原则。如出现刻不断等其它的现象时请优先调整各阶段的速度，以1.8为基准往上调或往下调； c.生产前需做首件检测原材料方阻，方阻需在要求范围之内才可正常生产； d.酸液流量要适中范围； e.酸槽的速度必须小于且不等于纯水槽的速度。 B. ITO Glass (1)玻璃－酸蚀刻参数表 材料 类别 材料编码 材料 厚度 mm 材料 方阻 Ω/□ 酸液 浓度1 HCL+HNO3 酸液 浓度2 HCL+HNO3 设置 温度 ℃ 设置 速度m/min 酸喷淋压力 kg/c㎡ 水喷淋压力 kg/c㎡ P上 P下 P上 P下 玻璃 ALL ALL 350~500 80~120 180~300 18%-26% 18%-26% 35～4 1~1.8 1~2.5 1~2.5 1~1.5 0.5~0.8 注:a.第一、二槽酸液蚀刻Glass材料时设置的温度、速度、需根据酸液的浓度及材料导电层附着力的强弱而调节,以能完全蚀刻、不短路为原则并配合碱段的参数； b.同时生产前需做首件检测原材料方阻,方阻需在要求范围之内才可正常生产； c.两槽酸液流量要适中范围； d.如出现刻不断等其它的现象时请优先调整各阶段的速度以1.5为基准往上调或往下调； e.酸槽的速度必须小于不等于碱槽的速度。 （2）碱洗、脱膜(Glass) 材料 碱液浓度 设置速度m/min 设置温度 ℃ 碱喷淋压力 kg/c㎡ 水喷淋压力 kg/c㎡ 备注 P上 P下 P上 P下 Glass 5～9% 1.0～ 35～4 0.7～1.5 0.5～1.0 0.6～1.2 0.5～1.0 Film 膜暂时不用碱液 注:a.机器运转速度,随碱液的浓度调节。以能将材料上的耐酸油墨洗脱干净为原则。转速要与酸洗速度相配合，比酸段的快,或将材料放入酸蚀刻段时间的间隔拉长； b.碱液流量要适中范围。 （3）烘干(以可烘干且不变形为原则)、水洗及超声波清洗 材料 水喷淋压力 kg/c㎡ 烘干温度 ℃ 烘干速度 m/min P上 P下 Film 0.8~1.3 0.3~0.5 60±5 1.8~2.5 Glass 1.0~1.6 0.5~0.8 60±5 1.0~2.3 注: a.烘干速度应与碱洗速度相同； b.水洗时水量较大,要确保冲洗干净。 (4)注：开机运行到设定温度后(约15~20分钟),方可测试酸液及碱液的浓度,其在规定范围内可进行生产。 二、酸溶液的配制 1.酸液 1)第二槽酸液配制方法: a.开槽配360升左右酸液 b.配制比例: 盐酸HCL(36~38%) : 纯水H2O 1 : 1.5 c.取178升的HCL慢慢加入267升纯水中(边搅拌边加入) 。配好后测试酸的当量浓度,在范围内方可使用。 2)第一槽酸液配制方法: 开槽配360升左右酸液 b.配制比例: 盐酸HCL (36~38%) : 硝酸HNO3(65~68%) : 纯水H2O 50 : 4 : 60 c.取172升HCL慢慢加入175升的纯水中(边搅拌边加入)，再取14升HNO3慢慢加入以上酸液中，边搅拌边加入