超硬材料合成过程中高精度加热控制方法的研究Study on high precision heating control method in the synthesis of superhard materials.pdfVIP

to Atllesissubmitted Zheng疝ouUnivers时 forthe ofMaster de铲ee A on method Heating-Controlduring studyhighprecision the of Materials processSuper-hardsynthesis W，ei ByXiaolOng Ren SuperVisor：Prof．Ti趾pillg andElectrical Mechanical Eng洫eermg ofMechaIlical School EngiIleerir培 2014 May 摘要 摘要 人造金刚石在制备过程中利用瞬时静态或动态超高压高温技术，使石墨等 碳质原料从固态或熔融态直接转变成金刚石。在石墨转变为金刚石的过程中， 需要根据金刚石制备工艺控制压力和温度，而压力和温度控制的精度和稳定性 也最终决定了金刚石品质的好坏。由于石墨在制备过程中处于密闭高压腔内， 温度的测量十分困难。目前国内采用六面顶压机制备金刚石，对于温度的控制 转变为对电流或是功率的控制。本文主要研究金刚石制备过程中恒功率加热问 题。 由于合成过程中存在工业电网波动、负载变化以及测量系统自身精度较低 和周期较长的问题，功率的控制精度、稳定性和抗干扰性能都不理想，直接影 响了金刚石的品质。针对加热系统存在的各种问题，本文提出了一种以数字控 制器取代目前广泛使用的模拟控制器的新方法。从测量方法、功率控制手段以 及算法等方面改善系统性能，满足高品质金刚石制备要求。通过功能实验、软 件仿真以及现场测试得到了验证和肯定。 硬件设计方面，完成了加热控制系统整体电路设计。主要包括电源模块、 测量模块、通讯模块、过零检测模块、可控硅触发模块，实现被测信号采集、 可控硅准确触发以及信息交互等方面的功能。 软件设计方面，基于系统硬件平台，完成了被测信号采集与计算、电压过 零点判断、可控硅触发和基于Modbus协议的通讯程序设计。控制方面采用前馈 补偿和反馈调节实现恒功率加热。前馈补偿通过测量电网波动实现前馈调节， 补偿电网波动带来的影响。反馈系统将模糊自整定PD算法融入到功率负反馈 控制当中，满足系统在精度、稳定性和自适应能力等方面的要求。利用Matlab 软件对系统进行建模分析，结果表明模糊自整定PD控制器的稳定性、适应性 和抗干扰性能都明显优于传统PID控制器。 实验方面，本文阐述了设计过程中的几个主要实验以及系统在工业现场测 试的一些情况，充分论证了系统的可行性。实验主要包括互感器两侧波形对比 实验、双积分AD转换实验、触发电路实验和实测采样点实验等，现场测试选择 了河南飞孟金刚石工业有限公司和修武县鑫锐超硬材料有限公司作为实验地 摘要 一_———————————————————————————————————————————————————一 点。实验结果表明系统能够较好完成预期设