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电子显微分析 Electron Micro-Analysis 王明光 ggg085@ 绪论材料科学研究 材料制备 材料结构 材料性能 材料计算 材料应用 一 研究对象 微结构与显微成分 微结构与性能的关系 微结构形成的条件与过程机理 二 研究手段 电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作产生各种物理信号，分析试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成等。 方法： 1、透射电镜（TEM） 2、扫描电镜（SEM） 3、电子探针（EMPA） 4、其他* 三 电子显微分析在材料研究中的应用 1、形态分析 2、元素的存在状态分析 3、玻璃的非晶态结构分析 4、材料断面的研究 5、晶界（微观研究） 6、微区结构分析 7、高分子材料的研究 8、………………….等等 四 电子显微分析特点： 1、不破坏样品，如可直接用陶瓷等多晶材料。 2、是一种微区分析方法，了解成分与结构的微区变化。 3、灵敏度高，成像分辨率高，为0.1-0.3nm，能进行nm尺度甚至原子尺度的晶体结构及化学组成分析。 4、各种电子显微分析仪器日益向多功能、综合性发展，可以进行形貌、物相、晶体结构和化学组成等的综合分析。 五 其他分析