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【精选】第五章电容传感器
第五章 电容式传感器
电容式传感器的工作原理和结构
电容式传感器——将被测非电量的变化转换为电容量变化。
平板电容器的电容
A
c
d
根据被测参数的变化分：
变极距型电容传感器(d)
变面积型电容传感器(A)
变介质型电容传感器( ε)
变极距型电容传感器
A
c0 ( )
0 r
d
0
若d从d → d - Δd, 电容量C → C +ΔC, 则有
0 0 0 0 d
A A A 1
C d
C ( 1) 0
d d d d d C d
0 0 0 1 0 1
d d
0 0
d
当 1 时，变极距式电容传感器有近似线性关系，此时灵敏度
d
0
C
C 1
K
d d
0
为了获得高灵敏度，一般d 较小，但——
0
d0过小易引起电容器击穿或短路，可放置高介电常数材料如云母片
A
c
d d d
g g 0
0 g 0
d
0
对于云母 6~ 8.5
，
g
图5-4 放置云母片的电容器
一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在 20～100pF之间, 极
板间距离在25～200 μm 的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故
在微位移测量中应用最广。
变面积型电容传感器
图5-5 变面积型电容传感 图5-6 电容式角位移传
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