电气比例阀在液压夹具中应用研究.pdf

2014年 1月 机床与液压 Jan．2014 第42卷 第 1期 MACHINETO0L HYDRAULICS VolI42N0．1 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2014．01．009 电气比例阀在液压夹具中的应用研究 肖秦梁，李更生，乔宇，张永健 (西安 电力电子技术研究所 ，陕西西安 710061) 摘要：大功率电力半导体器件是电力电子行业的基础和核心。随着电力半导体器件产量越来越大，功率和电压等级越 来越高，对其测试效率和测试质量的要求也越来越高。压力夹具是大功率半导体器件测试必不可少的环节，因此研制高效 率 、低成本及技术先进的大功率半导体器件测试压力夹具十分必要。采用电气 比例阀控制气液增压缸压力技术研制一种新 型压力夹具，实验结果表明：该夹具在相当大的范围内具有很好的控制精度和线性度。 关键词：电气比例阀；液压夹具 ；压力控制 中图分类号：TH138．9 文献标识码 ：B 文章编号 ：1001—3881(2014)1—031—3 ApplicationofElectricalProportionalValveinHydraulicFixture XIA0Qinliang，LIGengsheng，QIAOYu，ZHANGYongjian (Xi’anPowerElectronicsResearchInstitute，Xi’anShaanxi710061．China) Abstract：Highpowerelectricsemiconductordeviceisthefoundationandcoreofthepowerelectronicsindustry．Asthepro— ductionvolumeofpowersemiconductordevicesaremoreandmorebig，powerandvoltagelevelismoreandmorehigh，therequire- mentstotestefficiencyandtestqualityareincreasinglyhigh．Pressurefixtureisnecessary forthetestofhighpowersemiconductor device．So，it’Snecessary todevelophighpowersemiconductordevicetestpressurefixturewhichhashighefficiency，low costand advancedtechnology．Thetechnoloyg thatelectricproportionalvalvewasusedtocontrolthepressureofthegas·liquidpressurized cylinderwasadoptedtodesignanovelpressurefixture．Experimentalresultsindicatethattheproposedpressurefixturehasgoodac— curacyandlinearity． Keywords：Electricproportionalvalve：Hydraulicfixture；Pressurecontrol 随着电力电子技术的发展，电力半导体功率器件 定位和装夹的重复精度也是改进效率和质量的关键。 在各个领域的应用越来越广 。特别是特高压直流 将电气比例阀应用于液压夹具中，实现了一种由 输电换流阀体对器件的参数要求又十分严格，而且减 电气比例阀控制气液增压缸压力的技术并基于此技术 少停工检修期是提高生产力、使生产能力利用系数最 研制了一种新型压力夹具。 大化的一项重要因素。因而测试技术和设备的开发与 1 大吨位压力夹具的作用及各种实现方案的对 比 研制显得至关重要。器件测试过程中，为了实现高产