第二章 压力检测—压电传感器
1、压电效应 天然结构的石英晶体呈六角形晶柱,用金刚石刀具切割出一片正方形薄片。当晶体薄片受到压力时,晶格产生变形,表面产生正电荷,电荷Q与所施加的力F成正比 ,这种现象称为压电效应 。还有一些人造的材料也具有压电效应。 若在电介质的极化方向上施加交变电压,它就会产生机械变形。当去掉外加电场时,电介质的变形随之消失,这种现象称为逆压电效应(电致伸缩效应)。 石英晶体的压电效应演示 当力的方向改变时,电荷的极性随之改变,输出电压的频率与动态力的频率相同;当动态力变为静态力时,电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 2、压电材料的分类及特性 压电传感器中的压电元件材料一般有三类: 一类是压电晶体(如上述的石英晶体); 另一类是 经过极化处理的 压电陶瓷; 第三类是高分子压电材料。 ① 石英晶体 天然形成的石英晶体外形 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 石英晶体振荡器(晶振) 石英晶体在振荡电路中工作时,压电效应与逆压电效应交替作用,从而产生稳定的振荡输出频率。 ② 压 电 陶 瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料,它比石英晶体的压电灵敏度高得多,而制造成本却较低,因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷 。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷(PZT)及非铅系压电陶瓷 (如BaTiO3等)。 压电陶瓷外形 无铅压电陶瓷及其换能器外形 (上海硅酸盐研究所研制) 高分子压电薄膜及拉制 ③高分子压电材料 典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯(PVF2或PVDF)、聚氟乙烯(PVF)、改性聚氯乙烯(PVC)等。它是一种柔软的压电材料,可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。它不易破碎,具有防水性,可以大量连续拉制,制成较大面积或较长的尺度,价格便宜,频率响应范围较宽,测量动态范围可达80dB。 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 压电式脚踏报警器 高分子压电薄膜制作的压电喇叭(逆压电效应) 二、 压电传感器的测量转换电路 电荷放大器的输出电压仅与输入电荷和反馈电容有关,电缆长度等因素的影响很小: 四通道电荷放大器外形 . 超小型电荷放大器模块 主要指标:???????灵 敏 度:1、10、100mV/pC(任选一档)???????频率范围:0.3~100KHz(上、下限可选)???????噪声(最大灵敏度):输出端小于1mV???????归 一 化:外接电阻调整???????线性误差:1%???????最大输出:±5V或±10V???????电????源:±6V~±15V ???特点:可组成经济的多点测试系统 其他电荷放大器外形 三、 压电传感器的应用 ★ 压电式动态力传感器在体育动态测量中的应用 汽车点火爆震控制 休息一下 * 第三节 压 电 传 感 器 压电器件 受力、表面形变 电荷 压电常数 弹性常数(刚度) 介电常数 机电耦合系数 电阻 居里点 压电效应强弱:灵敏度 固有频率、动态特性 固有电容、频率下限 机电转换效率 泄漏电荷、改善低频特性 丧失压电性的温度 一 、工作原理 压电式传感器是一种自发电式传感器。它以某些电介质的压电效应为基础,在外力作用下,在电介质表面产生电荷,从而实现非电量电测的目的。 压电传感元件是力敏感元件,它可以测量最终能变换为力的那些非电物理量,例如动态力、动态压力、振动加速度等,但不能用于静态参数的测量。 压电式传感器具有体积小、质量轻、频响高、信噪比大等特点。由于它没有运动部件,因此结构坚固、可靠性、稳定性高。 天然形成的石英晶体外形 双面镀银并封装 晶振 电荷放大器能将压电传感器输出的电荷转换为电压(Q/U转换器),但并无放大电荷的作用,只是一种习惯叫法。 面板式电荷放大器 压电传感器只能应用于动态测量!! 由于外力作用在压电元件上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存,即需要测量回路具有无限大的输入阻抗,这实际上是不可能的,因此压电式传感器不能用于静态测量。压电元件在交变力的作用下,电荷可以不断补充,可以供给测量回路以一定的电流,故只适用于动态测量(一般必须高于100Hz,但在50
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