铸造多晶硅小平面枝晶生长机制研究.pdfVIP

助 材 料 2013年增刊II(44)卷 文章编号 ：1001—9731(2013)增刊 (Ⅱ)一0192—06 铸造多晶硅小平面枝晶生长机制的研究 罗大伟 ，龙剑平 ，李廷举 (1．成都理工大学 材料与化学化工学院，四川 成都 610059； 2．大连理工大学 材料科学与工程学院，辽宁 大连 116024) 摘 要 ： 近些年来由于低成本、低耗能和少污染等特 起着主导作用 。虽然孪晶的晶界并不捕获杂质，由于 点 ，铸造 多晶硅 已成为主要的光伏材料之一，越来越受 它们高度一致 的晶界，因此在太 阳电池器件 中孪晶对 到人们 的广泛关注。但通过定向凝 固工艺获得 的粗大 于其光 电转换效率的影响是微乎其微 的。但是普通 的 的晶体 中存在大量的孪晶，认为孪 晶就有可能对晶体 晶界却能够引起杂质的诱捕 ，因此为了对杂质诱捕位 生长起着主导作用。采用 自行设计的真空电磁感应熔 置处的晶界进行评估 ，消除晶粒边界处的孪晶晶界是 炼炉及定向凝固炉对冶金级 多晶硅进行 了真空条件下 非常必要的。本文以经纯化处理的优级冶金级硅为原 的定向凝 固实验 ，通过对定向凝固铸锭的观察和分析 料 ，采用 自行设计的真空 电磁感应熔炼炉及定 向凝 固 并结合国内外其它研 究机构在此方面的研 究，对铸造 炉对冶金级多 晶硅进行 了真 空条件 下 的定 向凝 固实 多晶硅 中平行孪晶的生长机制和小平面枝晶的生长机 验。采用光学金相显微镜对多晶硅铸锭 中孪晶的分布 制进行 了详 细的分析和讨论 。 规律进行观察和分析 ，同时对铸造多晶硅 中平行孪 晶 关键词： 铸造多晶硅 ；平行孪晶；定向凝固；生长机制 的生长机制和小平面枝晶的生长机制进行 了详细的分 中图分类号： TM914．4 文献标识码：A 析和讨论。 DOI：10．3969／j．issn．1)【(】1-9731．2013．增刊 (Ⅱ)．005 2 实 验 1 引 言 自主设计的真空感应熔炼炉的结构示意 图如图 1 由于制备成本低廉及工艺简单等特点 ，自20世纪 所示 。真空感应熔炼炉主要 由两部分组成，即感应熔 70年代以来铸造多晶硅制备技术在 国内外得到迅速 炼部分和定向凝 固部分。其中感应熔炼炉的最大功率 的发展。多晶硅 目前 已经成为最主要的光伏材料之 和频率分别为200kw 和 3000Hz。而定 向凝 固部分 一 ，但与单晶硅相比，由于用于制备多晶硅 的原材料中 则由4段保温装置所构成 ，从而为定向凝 固过程提供 含有较高的杂质元素 ，并且结晶条件和结晶组织也有 一 个从上到下具有负温度梯度的温度场 。实验所用的 差异 ，故多晶硅铸锭中存在较多的位错 、孪晶等晶体缺 硅料为经过酸洗处理的粒度在 0．3～0．5mm之 问，质 陷 ，它们在光电转换器件中成为载流子 的复合 中心，从 量为 2．5kg。 而严重影响太 阳电池的光 电转换效率 。研究表 明，铸 造多晶硅的晶粒尺寸越大越好 ，这样可 以减少 晶界 的 表面积 ，并且最好使晶界方 向与硅晶片表面相互垂直 ， 这样可以明显降低晶界对多晶硅太阳电池转换效率的 影响l1j。通过采用定向凝固技术可以获得沿生长方向 整齐排列的粗大柱状 晶组织，这些粗大 的柱状 晶尺寸 减少了晶界数量 同时也有利于提高太 阳电池转换效 1． 2． 率。因而研究铸造多晶硅 中各类晶体缺陷的分布及