光学资料方法测微小距离研究.docVIP

毕业（设计）论文 题 目 光学方法测微小距离的研究 专业班级 学 号 学生姓名 学 院 指导教师 指导教师职称 论文成绩 完成日期： 2013年 6月 1日 光学方法测微小距离的研究 Research on optical method measuring tiny distances 摘 要 微位移测量技术在科学与工业技术领域应用广泛，这是因为位移测量是压力、应力、速度、加速度、温度、流量等各种物理量的测量基础。微位移测量在许多行业都有相当大的需求，如电子、机械、医学、航空航天、土木工程等。 本文介绍了光学上测量微小距离的各种方法，从激光干涉法、光杠杆法、光栅尺法、激光三角法和光纤