基于平滑处理和采样补偿的工作台定位精度误差补偿法.PDFVIP

第32卷 第5期 轻工机械 V01．32NO．5 2014年 lO月 LightIndustryMachinery 0cc．20l4 [研究 ·设计] DOI：10．3969／j．issn．1005—2895．2014．05．011 基于平滑处理和采样补偿 的工作台 定位精度误差补偿法 王 荣 ，张敏 良，汲德安，田 园 (上海工程技术大学机械工程学院，上海 201600) 摘 要：精密X-作台存在的机械间隙是影响工作台定位精度的重要来源。基于采样双闭环和运动平滑处理对工作 台误 差进行补偿，这种方法与间隙大小无关，仅在进给的终点位置读取反馈误差并实时修正，给 出了对精 密工作 台进行补偿 的具体实例，补偿后定位精度从 25．00 m提高到 1．14 m。通过理论分析和实验验证，表明采样双闭环和平滑处理结 合的误差补偿方法对提高系统定位精度十分有效。 关 键 词：精密工作台；误差补偿；采样双闭环；平滑处理 ；定位精度 中图分类号 ：TP202．2 文献标志码 ：A 文章编号：1005—2895(2014)05-0043-04 ErrorCompensationM ethodforPreciseTableBasedon M otionSmoothingandSampledDualLoop WANG Rong，ZHANG Minliang，JIDean，TIAN Yuan (SchoolofMechanicalEngineering，ShanghaiUniversityofEngineeringScience，Shanghai201600，China) Abstract：Mechanicalclearanceisoneofthevitalfactorswhich cannotbeignored inprecisetable．To improvethe positioningprecision，theerrorcurveofaprecisetablewasmeasuredandthesystem errorwascompensatedbasedonthe sampleddualloop andmotion smoothing．Thesampled dualloop，readstheload encoderonly atthe endpointand performsa correction．Thismethod is independentofthe size ofthemechanicalclearance．Specific compensation examplewasgiven，thepositioningprecision oftheprecision tablewasimproved from 25．00 m to 1．14 tzm after compensation．Thetheoreticalanalysisandexperimentalresultsshow thattheerrorcompensation methodbasedonthe sampleddualloopand motionsmoothingiseffectivetoimprovethepositioningprecisionforprecisiontable． Keywords：precisiontable；errorcompensation；sampleddualloop；motionsmoothing；positioningprecision 随着微电子技术、通信 、航天和生物工程等学科的 驱动主要采用直线电机驱动或者伺服电机带动滚珠丝 迅速发展，对精密机械和仪器的精度要求越来越高，要 杠方式实现大行程和高速度 ，而微驱动大多通过压电 求相应的精密机械和检