微机械谐振器可变锚点结构能量耗散特性分析-上海交通大学.PDFVIP

第35 卷 第5 期 噪 声 与 振 动 控 制 Vol 35 No.5 2015 年10月 NOISE AND VIBRATION CONTROL Oct. 2015 文章编号：1006-1355(2015)05-0039-04 微机械谐振器可变锚点结构能量耗散特性分析 1 2 张 厦 ，张文明 （上海交通大学 机械系统与振动国家重点实验室，上海 200240 ） 摘 要：微机械谐振器在振动过程中总会产生能量耗散，并且具有诸如空气阻尼耗散、热弹性阻尼耗散、锚点结构 耗散、表面耗散等诸多耗散机制，其中锚点结构耗散是一种主要的能量耗散机制。应用完美匹配层方法，将无限大区 域入射波的吸收问题转化到有限区域内进行。针对中心支撑圆盘体